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    Low voltage actuated RF micromechanical switches fabricated using CMOS-MEMS technique
    DAI, Ching-Liang ; CHEN, Jing-Han
    In: Microsystem technologies, Jg. 12 (2006), Heft 12, S. 1143-1151
    Online academicJournal
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    Micro-hotplate based temperature stabilization system for CMOS SAW resonators : Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS
    Nordin, A. N. ; Voiculescu, I. ; et al.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 15 (2009), Heft NO 8, S. 1187-1193
    Online Konferenz
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    CMOS integrated elliptic diaphragm capacitive pressure sensor in SiGe MEMS
    ANANIAH DURAI, SUNDARARAJAN ; REZAUL HASAN, S. M
    In: Microsystem technologies, Jg. 20 (2014), Heft 1, S. 145-155
    Online academicJournal
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    SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers : Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS
    Ivanov, P. ; Laconte, J. ; et al.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 12 (2005), Heft 1/2, S. 160-168
    Online Konferenz
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    The scaling challenges of CMOS and the impact on high-density non-volatile memories
    BALDI, L ; BEZ, Roberto
    In: 4th European workshop on innovative mass storage technologies, Aachen, 28-29 September 2004, Jg. 13 (2007), Heft 2, S. 133-138
    Online Konferenz
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    Micro-hotplate based temperature stabilization system for CMOS SAW resonators
    ANIS NURASHIKIN, NORDIN ; VOICULESCU, Ioana ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 15 (2009), Heft 8, S. 1187-1193
    Online academicJournal
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    A circular micromirror array fabricated by a maskless post-CMOS process
    CHENG, Y. C ; DAI, C.-L ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 11 (2005), Heft 6, S. 444-451
    Online academicJournal
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    A micromachined tunable resonator fabricated by the CMOS post-process of etching silicon dioxide
    DAI, Ching-Liang ; YU, Wei-Chiang
    In: Microsystem technologies, Jg. 12 (2006), Heft 8, S. 766-772
    Online academicJournal
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    Why CMOS-integrated transducers? A review
    WITVROUW, A ; VAN STEENKISTE, F ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 6 (2000), Heft 5, S. 192-199
    Online academicJournal
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    Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip
    Sparks, D. R. ; Huang, X. ; et al.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 4 (1998), Heft 3, S. 139-142
    Online serialPeriodical
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    Dual-axis tuning fork vibratory gyroscope with anti-phase mode vibration mechanism
    CHIU, Sheng-Ren ; SUE, Chung-Yang ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 20 (2014), Heft 12, S. 2173-2184
    Online academicJournal
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    Electroplated nickel based micro-machined disk resonators for high frequency applications
    RITESH RAY, CHAUDHURI ; BHATTACHARYYA, Tarun K
    In: Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 4, S. 525-535
    Online academicJournal
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    The monolithic integration system of bulk-Si sensors and actuators based on the Au―Au bonding technology
    CHUNHUA, CAI ; MING, QIN
    In: Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 2, S. 195-201
    Online academicJournal
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    Digitally-controlled array of solid-state microcoolers for use in surgery
    CARMO, J. P ; SILVA, M. F ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 17 (2011), Heft 8, S. 1283-1291
    Online academicJournal
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    Microsensor packaging
    BRAND, O ; BALTES, H
    In: Microsystem technologies, Jg. 7 (2002), Heft 5-6, S. 205-208
    Online academicJournal
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    High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices
    MCNIE, M ; KING, D ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 6 (2000), Heft 5, S. 184-188
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    From MEMS devices to smart integrated systems
    Soeraasen, O. ; Ramstad, J. E.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-07-01), Heft 7, S. 895-901
    Online academicJournal
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