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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Opto-nanomechanical test instrument in mechanical characterization of DLC coated MEMS devices
    Daugela, Antanas ; Daugela, Jurgis
    In: Microsystem technologies, Jg. 26 (2020), Heft 11, S. 3323-3329
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Effect of laser heating on nanoscale wear of DLC thin films in an air environment
    Tagawa, Norio ; Tani, Hiroshi ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 24 (2018), Heft 11, S. 4605-4611
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Electrodeposition of Si–DLC nanocomposite film and its electronic application
    Basman, Necati ; Uzun, Rukiye ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 24 (2017), Heft 5, S. 2287-2294
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties : ASME-ISPS/JSME-IIP joint conference on micromechatronics for information and precision equipment
    Choi, J. ; Kawaguchi, M. ; et al.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 13 (2007), Heft 8/10, S. 1353-1358
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Study of the stiction free magnetic recording head with DLC pad : Micromechatronics for information and precision equipment
    Takagi, S.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 11 (2005), Heft 8/10, S. 907-913
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Investigation of wear resistance and lifetime of diamond-like carbon (DLC) coated glass disk in flying height measurement process
    PHETDEE, Korakoch ; PIMPIN, Alongkorn ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 17 (2011), Heft 8, S. 1373-1379
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Opto-nanomechanical test instrument in mechanical characterization of DLC coated MEMS devices
    Daugela, Antanas ; Daugela, Jurgis
    In: Microsystem Technologies, Jg. 26 (2020-03-05), S. 3323-3329
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    A method for determining ultrathin DLC film thickness by spectroscopic ellipsometry
    Zhao, J. M. ; Yang, P.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 18 (2012), Heft 9/10, S. 1455-1461
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Studies on SiC, DLC and TiO2 thin films as piezoresistive sensor materials for high temperature application
    Fraga, M. A. ; Furlan, H. ; et al.
    In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, Jg. 18 (2012), Heft 7/8, S. 1027-1033
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Electrodeposition of Si–DLC nanocomposite film and its electronic application
    Başman, Necati ; Uzun, Rukiye ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 24 (2017-11-17), S. 2287-2294
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A method for determining ultrathin DLC film thickness by spectroscopic ellipsometry
    Zhao, J. M. ; Yang, Ping
    In: Microsystem Technologies, Jg. 18 (2012-06-24), S. 1455-1461
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Investigation of wear resistance and lifetime of diamond-like carbon (DLC) coated glass disk in flying height measurement process
    Pimpin, Alongkorn ; Srituravanich, Werayut ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 17 (2011-04-19), S. 1373-1379
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Studies on SiC, DLC and TiO2 thin films as piezoresistive sensor materials for high temperature application
    Luiz Antonio Rasia ; Mateus, C.F.R. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 18 (2012-01-31), S. 1027-1033
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties
    Ikeyama, Masami ; Choi, Junho ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 13 (2007-01-05), S. 1353-1358
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Study of the stiction free magnetic recording head with DLC pad
    Takagi, S.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 11 (2005-05-13), S. 907-913
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties.
    Choi, Junho ; Kawaguchi, Masahiro ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 13 (2007-05-23), Heft 8-10, S. 1353-1358
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Control of head smear generation by diamond-like carbon films using an external electric field.
    Tani, Hiroshi ; Lu, Renguo ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 29 (2023-03-01), Heft 3, S. 295-300
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Temperature measurement with thin film sensors during warm forging of steel.
    Plogmeyer, M. ; Kruse, J. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 27 (2021-10-01), Heft 10, S. 3841-3850
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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