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    A Si stencil mask for deep X-ray lithography fabricated by MEMS technology.
    Mekaru, Harutaka ; Takano, Takayuki ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-10-01), Heft 9-11, S. 1335-1342
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    A micro cycloid-gear system fabricated by multi-exposure LIGA technique.
    Chung, S. J. ; Hein, H. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 6 (2000-04-01), Heft 4, S. 149-153
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    A Si stencil mask for deep X-ray lithography fabricated by MEMS technology
    Mekaru, Harutaka ; Takano, Takayuki ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-10-01), Heft 9-11, S. 1335-1342
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Surface roughness control by energy shift in deep X-ray lithography.
    Cheng, Y. ; Chen, C. N. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 9 (2003), Heft 3, S. 163-166
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record at Springer (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    A Si stencil mask for deep X-ray lithography fabricated by MEMS technology
    Ukita, Yoshiaki ; Mekaru, Harutaka ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-01-09), S. 1335-1342
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    A micro cycloid-gear system fabricated by multi-exposure LIGA technique
    Chung, S. J. ; Hein, H. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 6 (2000-04-25), S. 149-153
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Surface roughness control by energy shift in deep X-ray lithography
    Cheng, Y. ; Tseng, Fan-Gang ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 9 (2003), S. 163-166
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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