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    Low voltage actuated RF micromechanical switches fabricated using CMOS-MEMS technique
    Dai, Ching-Liang ; Chen, Jing-Han
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 12 (2006-10-01), Heft 12, S. 1143-1151
    Online academicJournal
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    SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers
    Ivanov, P. ; Laconte, J. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 12 (2005-12-01), Heft 1-2, S. 160-168
    Online academicJournal
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    A circular micromirror array fabricated by a maskless post-CMOS process
    Cheng, Y. C. ; Dai, C. L. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 11 (2005-06-01), Heft 6, S. 444-451
    Online academicJournal
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    A micromachined tunable resonator fabricated by the CMOS post-process of etching silicon dioxide
    Dai, Ching-Liang ; Yu, Wei-Chiang
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 12 (2006-07-01), Heft 8, S. 766-772
    Online academicJournal
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    Why CMOS-integrated transducers? A review
    Witvrouw, A. ; Van Steenkiste, F. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 6 (2000-08-01), Heft 5, S. 192-199
    Online academicJournal
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    Process technology for the modular integration of CMOS and polysilicon microstructures
    Bustillo, James M. ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 1 (1994-10-01), Heft 1, S. 30-41
    Online academicJournal
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    Angular rate sensor and accelerometer combined on the same micromachined CMOS chip
    Sparks, D. R. ; Huang, X. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 4 (1998-05-01), Heft 3, S. 139-142
    Online academicJournal
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    Microsensor packaging
    Brand, O. ; Baltes, H.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 7 (2002), Heft 5-6, S. 205-208
    Online academicJournal
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    High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices
    McNie, M. ; King, D. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 6 (2000-08-01), Heft 5, S. 184-188
    Online academicJournal
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    Combination of LIGA with other microstructure technologies
    Menz, W. ; Bacher, W. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 2 (1996-10-01), Heft 4, S. 162-166
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Combination of LIGA with other microstructure technologies
    Menz, W. ; Bacher, W. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 2 (1995-03-01), Heft 1, S. 162-166
    Online academicJournal
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    A two-chip accelerometer system for automotive applications
    Shemansky, F. ; Ristic, Lj. ; et al.
    In: Microsystem Technologies: MEMS, Systems for Information Processing and Storage, Jg. 1 (1995-07-01), Heft 3, S. 121-123
    Online academicJournal
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