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    Characterization of 0.18-μm CMOS MEMS Capacitive Ultrasonic Sensors for Fast Photoacoustic Imaging.
    Shih, Yi-Chia ; Lu, Michael S. C.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 713-716
    Online academicJournal
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    Micro-acoustic Source for Hearing Applications Fabricated with 0.35 μm CMOS-MEMS Process.
    Rufer, Libor ; De Pasquale, Giorgio ; et al.
    In: Procedia Engineering, 2015-12-15, S. 944-947
    Online academicJournal
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    A 3D FEM Model for Heat Transfer Mechanisms in Membrane Based Thermal Conductivity Sensors Developed Using SOI CMOS MEMS Technology.
    Sarfraz, Sohab ; Kumar, R. Vasant ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 476-479
    Online academicJournal
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    SOI CMOS MEMS Infra-red Thermal Source with Carbon Nanotubes Coating.
    De Luca, A. ; Cole, M.T. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 839-842
    Online academicJournal
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    3D Multiphysics Modelling of an SOI CMOS MEMS Thermal Wall Shear Stress Sensor.
    Falco, C. ; De Luca, A. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 628-631
    Online academicJournal
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    Characterization of CMOS MEMS Capacitive Ultrasonic Sensors for Fast Photoacoustic Imaging.
    Kuo, Chin-An ; Lu, Michael S. C.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1119-1122
    Online academicJournal
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    Surface-micromachined Bragg Reflectors Based on Multiple Airgap/SiO2 Layers for CMOS-compatible Fabry-perot Filters in the UV-visible Spectral Range.
    Ghaderi, M. ; Ayerden, N.P. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1533-1536
    Online academicJournal
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    A CMOS-MEMS Thermopile with an Integrated Temperature Sensing Diode for Mid-IR Thermometry.
    Hopper, R. ; Ali, S. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1127-1130
    Online academicJournal
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    Low Voltage Acoustic Particle Velocity Sensor with Integrated Low Noise Chopper Pre-amplifier.
    Piotto, Massimo ; Butti, Federico ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 736-739
    Online academicJournal
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    MEMS Infrared Emitter and Detector for Capnography Applications.
    Chowdhury, M.F. ; Hopper, R. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 1204-1207
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Lorentz Force Magnetic Sensor based on a Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon Laterally Vibrating Micromechanical Resonator.
    Ghosh, S. ; Lee, J.E.Y.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 654-657
    Online academicJournal
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    Fabrication of Ultrathin Large-area Dielectric Membrane Stacks for use as Interference Filters.
    Ghaderi, M. ; de Graaf, G. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 1342-1345
    Online academicJournal
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    Process Variability Monitor for Embedded MEMS Inertial Sensors Exploiting Digital Calibration Coefficients.
    Hellwege, N. ; Heinssen, S. ; et al.
    In: Procedia Engineering, 2015-12-15, S. 637-640
    Online academicJournal
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    Contact Mode MEMS Position Sensors with Piezoresistive Detection.
    Todorov, V. ; Stavreva, G. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1156-1159
    Online academicJournal
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