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    Preparation of hard and ultra water-repellent silicon oxide films by microwave plasma-enhanced CVD at low substrate temperatures
    YUNYING, WU ; SUGIMURA, Hiroyuki ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 161-164
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Diamond thick film deposition in wafer scale using single-cathode direct current plasma assisted chemical vapour deposition
    LEE, Wook-Seong ; BAIK, Young-Joon ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 89-94
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The influence of carbon content in carbon-doped silicon oxide film by thermal treatment
    CHANG SIL, YANG ; YU, Young-Hun ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 165-169
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Improvement of the biocompatibility and mechanical properties of surgical tools with TiN coating by PACVD
    PARK, Jeongwon ; KIM, Duk-Jae ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 102-107
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Growth characteristics of carbon nanotubes via aluminum nanopore template on Si substrate using PECVD
    MUN JA, KIM ; JONG HYUNG, CHOI ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 312-317
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Effects of direct-current bias on the carbonization of Si(100) at low temperatures using electron cyclotron resonance chemical vapor deposition
    JAE HWACK, PYO ; WHANG, Ki-Woong
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 340-343
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Density control of carbon nanotubes using NH3 plasma treatment of Ni catalyst layer
    JONG HYUNG, CHOI ; TAE YOUNG, LEE ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 318-323
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Behavior of hydride species on Si surface during methane plasma irradiation investigated by in-situ infrared spectroscopy
    SHINOHARA, Masanori ; KUWANO, Takayuki ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 13-18
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Reduction of perfluorocompound emissions by microwave plasma-torch
    HONG, Yong C ; KIM, Hyoung S ; et al.
    In: Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology (6th APCPST), Jg. 435 (2003), Heft 1-2, S. 329-334
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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