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    Submicron piezoresistive cantilevers in a CMOS-compatible technology for intermolecular force detection
    VILLANUEVA, G ; MONTSERRAT, J ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 480-486
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication concept for a CMOS-compatible electrostatically driven surface MEMS switch for RF applications
    HARMS, K. U ; HORSTMANN, J. T
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 468-473
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Realization and characterization of nano-scale FinFET devices
    KRETZ, J ; DREESKORNFELD, L ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 803-808
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    One-dimensional capacitative micromachined ultrasonic transducer arrays for echographic probes
    CIANCI, E ; MINOTTI, A ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 502-507
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    High tuning range AlSi RF MEMS capacitors fabricated with sacrificial amorphous silicon surface micromachining
    FRITSCHI, R ; FREDERICO, S ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 447-451
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of monolithic bidirectional switch devices
    BAUS, M ; LEMME, M. C ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 463-467
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Double electron drift device as a magnetic field sensor
    SCHMITZ, V ; SCHELTEN, J
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 519-523
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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