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    Metal-organic chemical vapor deposition of NbxTa(1-x)NyOmCn films as diffusion barriers for Cu metallization
    GAU, W. C ; WU, C. W ; et al.
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 548-552
    Konferenz
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    The microstructural effect of chemically vapor infiltrated SiC whiskered thin film on the green body of SiC/C composites
    YOUNG JIN, LEE ; SANG MIN, HWANG ; et al.
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 354-359
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Iron and cobalt silicide catalysts-assisted carbon nanostructures on the patterned Si substrates
    HUI LIN, CHANG ; CHAO HSUN, LIN ; et al.
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 219-224
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Improvement of the adhesion of c-BN films by bias-graded h-BN interlayers
    FREUDENSTEIN, R ; KULISCH, W
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 132-138
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Growth and structure of silica films deposited on a polymeric material by plasma-enhanced chemical vapor deposition
    TESHIMA, Katsuya ; INOUE, Yasushi ; et al.
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 324-329
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Effect of bias voltage on the formation of a-C:N nanostructures in ECR plasmas
    LIU, X. W ; CHAN, L. H ; et al.
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 212-218
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Deposition and mechanical properties of Ti-Si-N coated layer on WC-Co by RF inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition
    LEE, Eung-Ahn ; KWANG HO, KIM
    In: Proceedings of the 29th international conference on metallurgical coatings and thin films, San Diego, CA, USA, April 22-26, 2002 (ICMCTF2002), Jg. 420-21 (2002), S. 371-376
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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