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    Study on the effect of electron beam curing on low-K porous organosilicate glass (OSG) material
    CHANG, T. C ; TSAI, T. M ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 383-387
    Konferenz
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    Effect of carrier gas on the structure and electrical properties of low dielectric constant SiCOH film using trimethylsilane prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
    CHENG, Y. L ; WANG, Y. L ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 178-183
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Structural characteristics and interfacial reactions of low dielectric constant porous polysilazane for Cu metallization
    WANG, J. H ; LIU, P. T ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 393-397
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Thermal stability and bonding configuration of fluorine-modified low-k SiOC:H composite films
    JANGJIAN, Shiu-Ko ; LIU, Chuan-Pu ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 460-465
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Ultraviolet detecting properties of ZnO-based thin film transistors
    BAE, H. S ; IM, Seongil
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 75-79
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The effect of Au thickness and annealing conditions on SiO2formation in the Au/Si system
    JULIES, B. A ; ADAMS, Daniel ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 282-289
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Metal-induced crystallization of amorphous Si1-xGexby rapid thermal annealing
    YU, C. H ; YEH, P. H ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 356-360
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Electrical and optical properties of TCO-Cu2O heterojunction devices
    TANAKA, Hideki ; SHIMAKAWA, Takahiro ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 80-85
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Effects of H2 in indium-molybdenum oxide films during high density plasma evaporation at room temperature
    SUN, Shi-Yao ; HUANG, Jow-Lay ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 6-10
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The influence of thermal treatment on the microstructure and hardness in electroless Ni-P-W deposit
    TIEN, Shih-Kang ; DUH, Jenq-Gong ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 333-338
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Property change in ZrNxOy thin films : effect of the oxygen fraction and bias voltage
    VAZ, F ; CARVALHO, P ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 11-17
    Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Processing and thermal properties of highly oriented diamond thin films
    WOLTER, Scott D ; BORCA-TASCIU, Diana ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 105-111
    Konferenz
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    Dielectric properties of AlNx thin films prepared by RF magnetron sputtering of Al using a N2/Ar sputtering gas mixture
    GOULD, R. D ; AWAN, S. A
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 184-189
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    X-ray scattering study in homoepitaxial growth of sputter-deposited SrTiO3 films
    LEE, Hsin-Yi ; HSU, C.-H ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 327-332
    Konferenz
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Temperature effect of nitrided stainless steel coatings deposited by reactive DC-magnetron sputtering
    TERWAGNE, G ; COLAUX, J ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 167-172
    Konferenz
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    Structures and electrochromic properties of Ta0.1W0.9Ox thin films deposited by pulsed laser ablation
    YANG, D ; XUE, L
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 54-58
    Konferenz
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Nucleation and growth behavior during initial stage in sublimation epitaxy of SiC films on 6H-SiC(0001) substrate
    SEO, Soo-Hyung ; SONG, Joon-Suk ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 149-153
    Konferenz
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    New metal layers for integrated circuit manufacture : experimental and modeling studies
    IWAMOTO, N ; TRUONG, N ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 431-437
    Konferenz
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    Investigation of the growth mechanism and structure of nanocrystalline diamond films by rapid thermal annealing
    KULISCH, W ; POPOV, C ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 99-104
    Konferenz
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Interfacial synthesis of electrically conducting polyaniline nanofiber composites
    HOPKINS, A. R ; SAWALL, D. D ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 19-23, 2004, Jg. 469-70 (2004), S. 304-308
    Konferenz
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