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    Status of Cat-CVD (Hot Wire CVD) research in the United States
    MAHAN, A. H
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 12-16
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Status of Cat-CVD (Hot-Wire CVD) research in Europe
    SCHROPP, R. E. I
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 17-24
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Identification and gas phase kinetics of radical species in Cat-CVD processes of SiH4
    NOZAKI, Yoshitaka ; KITAZOE, Makiko ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 47-50
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Hot-wire CVD growth simulation for thickness uniformity
    SALI, Jaydeep V ; PATIL, S. B ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 66-70
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Growth mechanisms and structural properties of microcrystalline silicon films deposited by catalytic CVD
    NIIKURA, C ; KIM, S. Y ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 178-183
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Development of Cat-CVD apparatus : a method to control wafer temperatures under thermal influence of heated catalyzer
    KARASAWA, Minoru ; MASUDA, Atsushi ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 71-74
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The role of hydrogen dilution of silane and phosphorus doping on hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si:H) films prepared by hot-wire chemical vapor deposition (HW-CVD) technique
    JADKAR, S. R ; SALI, J. V ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 206-212
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Surface modification of silicon related materials using a catalytic CVD system for ULSI applications
    IZUMI, Akira
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 260-265
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Highly conducting doped microcrystalline silicon (μc-Si:H) at very low substrate temperature by Cat-CVD
    DUSANE, R. O ; DIEHL, Frank ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 202-205
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Fundamental properties of ECR plasma CVD and hydrogen-induced low temperature Si epitaxy
    SASAKI, Kimihiro
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 225-229
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Formation of silicon films for solar cells by the Cat-CVD method
    KOMODA, Manabu ; KAMESAKI, Koji ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 198-201
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Development of the Cat-CVD apparatus and its feasibility for mass production
    ISHIBASHI, Keiji
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 55-60
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Correlated structural and electronic properties of microcrystalline silicon films deposited at low temperature by catalytic CVD
    BOUREE, J. E
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 157-162
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The influence of filament temperature on crystallographic properties of poly-Si films prepared by the hot-wire CVD method
    JEONG CHUL, LEE ; KI HWAN, KANG ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 188-193
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    The influence of different catalyzers in hot-wire CVD for the deposition of polycrystalline silicon thin films
    VAN VEENENDAAL, P. A. T. T ; GIJZEMAN, O. L. J ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 194-197
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Hot-wire CVD-grown microcrystalline silicon films with and without initial growing layer modification by transformer-coupled plasma
    KIM, D. Y ; AHN, B. J ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 184-187
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Effect of r.f.-plasma assistance in hot-wire CVD on properties of μc-Si:H
    ITOH, Takashi ; INOUCHI, Hiroki ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 217-220
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Surface chemical reactions of diamond (100) by Cat-CVD
    XUEMEI, SONG ; MEI, WANG ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 257-259
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD) of fluorocarbon and organosilicon thin films
    LAU, K. K. S ; LEWIS, H. G ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 288-291
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
    FENG, Y ; ZHU, M ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 213-216
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -