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    Recent progress of Cat-CVD research in Japan: bridging between the first and second Cat-CVD conferences
    MATSUMURA, Hideki ; UMEMOTO, Hironobu ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 7-14
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Development of Cat-CVD apparatus for 1-m-size large-area deposition
    ISHIBASHI, Keiji ; KARASAWA, Minoru ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 58-62
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of Cat-CVD grown Si-C and Si-C-O dielectric films for ULSI applications
    TAKATSUJI, K ; KAWAKAMI, M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 116-119
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Surface passivation of crystalline silicon by Cat-CVD amorphous and nanocrystalline thin silicon films
    VOZ, C ; MARTIN, I ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 270-273
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Formation of low-resistivity poly-Si and SiNx films by Cat-CVD for ULSI application
    MORIMOTO, Rui ; YOKOMORI, Chisato ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 230-235
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of a-Si1-xCx:H thin films for solar cells by the Cat-CVD method using a carbon catalyzer
    SUGITA, Ken ; ITOH, Masaya ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 170-173
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of poly-Si films by Cat-CVD for thin film transistor
    SUNAYAMA, Hideki ; YAMADA, Kazutaka ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 226-229
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Microcrystalline silicon for solar cells deposited at high rates by hot-wire CVD
    IWANICZKO, E ; XU, Y ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 212-215
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Highly conducting doped poly-Si deposited by hot wire CVD and its applicability as gate material for CMOS devices
    PATIL, Samadhan B ; VAIRAGAR, Anand V ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 63-66
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Combinatorial hot-wire CVD approach to exploring thin-film Si materials and devices
    QI, WANG
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 78-82
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Status report: solar cell related research and development using amorphous and microcrystalline silicon deposited by HW(Cat)CVD
    SCHROEDER, Bernd
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 1-6
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preliminary results on a-SiC:H based thin film light emitting diode by hot wire CVD
    PATIL, Samadhan B ; KUMBHAR, Alka A ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 257-260
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Hydrogen passivation and junction formation on APIVT-deposited thin-layer silicon by hot-wire CVD
    WANG, T. H ; WANG, Q ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 261-264
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Switching and filament formation in hot-wire CVD p-type a-Si:H devices
    JIAN, HU ; BRANZ, Howard M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 249-252
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Hot-wire chemical vapor deposition of high hydrogen content silicon nitride for solar cell passivation and anti-reflection coating applications
    HOLT, J. K ; GOODWIN, D. G ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 37-40
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Highly conductive microcrystalline silicon carbide films deposited by the hot wire cell method and its application to amorphous silicon solar cells
    MIYAJIMA, Shinsuke ; YAMADA, Akira ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 274-277
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Epitaxial growth of strained Si1-yCy films by the hot-wire cell method and its application to metal oxide semiconductor devices
    WATAHIKI, Tatsuro ; ABE, Katsuya ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 283-286
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of n-i-p solar cells entirely by HWCVD with microcrystalline p-layer
    KUPICH, Markus ; KUMAR, Prabhat ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 236-239
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Development of a hot-wire chemical vapor deposition n-type emitter on p-type crystalline Si-based solar cells
    QI, WANG ; PAGE, M. R ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 208-211
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Thin-film transistors deposited by hot-wire chemical vapor deposition
    STANNOWSKI, B ; RATH, J. K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 220-225
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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