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    Surface passivation of crystalline silicon by Cat-CVD amorphous and nanocrystalline thin silicon films
    VOZ, C ; MARTIN, I ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 270-273
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Formation of low-resistivity poly-Si and SiNx films by Cat-CVD for ULSI application
    MORIMOTO, Rui ; YOKOMORI, Chisato ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 230-235
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Microcrystalline silicon for solar cells deposited at high rates by hot-wire CVD
    IWANICZKO, E ; XU, Y ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 212-215
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Status report: solar cell related research and development using amorphous and microcrystalline silicon deposited by HW(Cat)CVD
    SCHROEDER, Bernd
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 1-6
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preliminary results on a-SiC:H based thin film light emitting diode by hot wire CVD
    PATIL, Samadhan B ; KUMBHAR, Alka A ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 257-260
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Hydrogen passivation and junction formation on APIVT-deposited thin-layer silicon by hot-wire CVD
    WANG, T. H ; WANG, Q ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 261-264
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Switching and filament formation in hot-wire CVD p-type a-Si:H devices
    JIAN, HU ; BRANZ, Howard M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 249-252
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of n-i-p solar cells entirely by HWCVD with microcrystalline p-layer
    KUPICH, Markus ; KUMAR, Prabhat ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 236-239
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Development of a hot-wire chemical vapor deposition n-type emitter on p-type crystalline Si-based solar cells
    QI, WANG ; PAGE, M. R ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 208-211
    Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Thin-film transistors deposited by hot-wire chemical vapor deposition
    STANNOWSKI, B ; RATH, J. K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 220-225
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Intrinsic microcrystalline silicon prepared by hot-wire chemical vapour deposition for thin film solar cells
    KLEIN, Stefan ; FINGER, Friedhelm ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 202-207
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Incorporation of amorphous and microcrystalline silicon in n-i-p solar cells
    VAN VEEN, M. K ; VAN DER WERF, C. H. M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 216-219
    Konferenz
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    Hot-wire thin-film transistors on PET at 100 °C
    CONDE, J. P ; ALPUIM, P ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 240-244
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Application of decomposed species generated by a heated catalyzer to ULSI fabrication processes
    IZUMI, Akira ; MIKI, Tsubasa ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 265-269
    Konferenz
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    Nitrogen dilution effects on structural and electrical properties of hot-wire-deposited a-SiN:H films for deep-sub-micron CMOS technologies
    WAGHMARE, Parag C ; PATIL, Samadhan B ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 189-191
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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