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    Recent progress of Cat-CVD research in Japan: bridging between the first and second Cat-CVD conferences
    MATSUMURA, Hideki ; UMEMOTO, Hironobu ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 7-14
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Modeling and measurement of film deposition in a one-dimensional hot-wire CVD system
    JIE, ZHOU ; WOLDEN, Colin A
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 28-32
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Development of Cat-CVD apparatus for 1-m-size large-area deposition
    ISHIBASHI, Keiji ; KARASAWA, Minoru ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 58-62
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Coverage properties of silicon nitride film prepared by the Cat-CVD method
    OSONO, S ; UCHIYAMA, Y ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 165-169
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of Cat-CVD grown Si-C and Si-C-O dielectric films for ULSI applications
    TAKATSUJI, K ; KAWAKAMI, M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 116-119
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Surface passivation of crystalline silicon by Cat-CVD amorphous and nanocrystalline thin silicon films
    VOZ, C ; MARTIN, I ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 270-273
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Preparation of SiO2 thin films using the Cat-CVD method
    SAITO, K ; UCHIYAMA, Y ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 287-291
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of B-doped a-Si1-xCx:H films and heterojunction p-i-n solar cells by the Cat-CVD method
    CHIKUSA, K ; TAKEMOTO, K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 245-248
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Monte Carlo simulations on large-area deposition of amorphous silicon by hot-wire CVD
    PFLÜGER, Andrea ; SCHRÖDER, Bernd ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 73-77
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Hydrogen distribution, nanostructures and optical properties of high deposition rate hot-wire CVD a-Si:H
    BAUGH, Jonathan ; KEDA, WANG ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 95-99
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Growth of GaN films on nitrided gaas substrates using hot-wire CVD
    YASUI, Kanji ; MORIMOTO, Kantarou ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 174-177
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Formation of low-resistivity poly-Si and SiNx films by Cat-CVD for ULSI application
    MORIMOTO, Rui ; YOKOMORI, Chisato ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 230-235
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of a-Si1-xCx:H thin films for solar cells by the Cat-CVD method using a carbon catalyzer
    SUGITA, Ken ; ITOH, Masaya ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 170-173
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Crystallization by excimer laser annealing for a-Si:H films with low hydrogen content prepared by Cat-CVD
    YOGORO, Yusuke ; MASUDA, Atsushi ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 296-299
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Catalytic CVD growth of Si-C and Si-C-O alloy films by using alkylsilane and related compounds
    NAKAYAMA, H ; TAKATSUJI, K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 87-90
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Catalytic CVD growth and properties of a-C:H and a-C:N
    NAKAYAMA, H ; TAKATSUJI, K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 309-312
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Substrate influence on the properties of doped thin silicon layers grown by Cat-CVD
    SOLER, D ; FONRODONA, M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 157-160
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Small-angle neutron scattering studies of hot-wire CVD a-Si:H
    WILLIAMSON, D. L ; MARR, D. W. M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 192-196
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Shutterless deposition of phosphorous doped microcrystalline silicon by Cat-CVD
    FONRODONA, M ; GORDIJN, A ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 145-148
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Quantitative analysis of tungsten, oxygen and carbon concentrations in the microcrystalline silicon films deposited by hot-wire CVD
    BOUREE, J. E ; GUILLET, J ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 110-115
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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