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    A pure CMOS surface-micromachined integrated accelerometer
    Hierold, Christofer ; Hildebrandt, Andreas ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 57 (1996), Heft 2, S. 111-116
    Online serialPeriodical
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    Laminated high-aspect-ratio microstructures in a conventional CMOS process
    Fedder, G.K. ; Santhanam, S. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 57 (1996), Heft 2, S. 103-110
    Online serialPeriodical
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    Mechanical sensors integrated in a commercial CMOS technology
    Bausells, J. ; Carrabina, J. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 62 (1997-07-01), Heft 1-3, S. 698-704
    Online serialPeriodical
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    Full Text Finder (Volltext)
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    Smart optical sensor systems in CMOS for measuring light intensity and colour
    de Graaf, G. ; Wolffenbuttel, R.F.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 67 (1998-05-15), Heft 1-3, S. 115-119
    Online serialPeriodical
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    Design and fabrication of CMOS optical modulator
    Dai, C. L. ; Chen, H. L. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 95 (2001), Heft 1, S. 69-74
    serialPeriodical
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    A single-crystal Si-resonator with on-chip readout amplifier in standard CMOS
    Bertz, A. ; Symanzik, H. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 93 (2001), Heft 2, S. 163-172
    serialPeriodical
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    A CMOS humidity sensor with on-chip calibration
    Qiu, Y. Y. ; Azeredo-Leme, C. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 92 (2001), Heft 1, S. 80-87
    serialPeriodical
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    CMOS-based microsensors and packaging
    Baltes, H. ; Brand, O.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 92 (2001), Heft 1, S. 1-9
    serialPeriodical
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    A low-voltage integrated CMOS analog lock-in amplifier prototype for LAPS applications
    Ferri, G. ; Laurentiis, P. De ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 92 (2001), Heft 1, S. 263-272
    serialPeriodical
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    Integration of sputtered silicon microstructures with pre-fabricated CMOS circuitry
    Honer, K. A. ; Kovacs, G. T.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 392-403
    serialPeriodical
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Performance and applications of a two axes fluxgate magnetic field sensor fabricated by a CMOS process
    Gruger, H. ; Gottfried-Gottfried, R.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 91 (2001), Heft 1-2, S. 61-64
    serialPeriodical
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    CMOS microelectromechanical bandpass filters
    Yang, L. J. ; Huang, T. W. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 90 (2001), Heft 1-2, S. 148-152
    serialPeriodical
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Phase-only micromirror array fabricated by standard CMOS process
    Tuantranont, A. ; Liew, L. A. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 89 (2001), Heft 1-2, S. 124-134
    serialPeriodical
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    In situ characterization of CMOS post-process micromachining
    Warneke, B. ; Pister, K. S.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 89 (2001), Heft 1-2, S. 142-151
    serialPeriodical
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    The temperature characteristics of bipolar transistors fabricated in CMOS technology
    Wang, G. ; Meijer, G. C.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 87 (2000), Heft 1, S. 81-89
    Online serialPeriodical
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Shape deterioration of mesa structures in post-CMOS anisotropic etching of silicon microsensors: an experimental study
    Takao, H. ; Yong, C. C. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 86 (2000), Heft 1, S. 115-121
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    CMOS-compatible capacitive high temperature pressure sensors
    Kasten, K. ; Amelung, J. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 85 (2000), Heft 1, S. 147-152
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Noise considerations in low voltage CMOS integrated temperature sensors
    Ferri, G. ; D'Amico, A. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 85 (2000), Heft 1, S. 232-238
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Laminated, sacrificial-poly MEMS technology in standard CMOS
    Guillou, D. F. ; Santhanam, S. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 85 (2000), Heft 1, S. 346-355
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Temperature cross-sensitivity of Hall plate in submicron CMOS technology
    Manic, D. ; Petr, J. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 85 (2000), Heft 1, S. 244-248
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