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    CMOS compatible nanoscale thermal conductivity detector for gas sensing applications
    Ricoul, Florence ; Gely, Marc ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 261 (2017-07-01), S. 9-13
    Online unknown
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    CMOS-compatible capacitive high temperature pressure sensors
    Kasten, Klaus ; Mokwa, Wilfried ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 85 (2000-08-01), S. 147-152
    Online unknown
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    Thermoelectric infrared sensors in CMOS technology
    Lenggenhager, R. ; Elbel, T. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, 1993-06-01, S. 216-220
    Online unknown
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    A CMOS-compatible temperature sensor based on the gaseous thermal conduction dependent on temperature
    Wang, J.Q. ; Tang, Zhen A.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 176 (2012-04-01), S. 72-77
    Online unknown
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    Temperature-dependent thermal conductivities of CMOS layers by micromachined thermal van der Pauw test structures
    Paul, Oliver ; Hafizovic, S.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, 2002-04-01, S. 246-252
    Online unknown
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    An integrated sensor for invasive blood-velocity measurement
    Eichholz, J. ; Langerbein, A. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, 1993-06-01, S. 674-678
    Online unknown
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    Characterization of miniaturized one-side-electrode-type fluid-based inclinometer
    Asrulnizam Abd Manaf ; Matsumoto, Yoshinori ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 144 (2008-05-01), S. 74-82
    Online unknown
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    Thin-film boron-doped polycrystalline silicon70%-germanium30% for thermopiles
    Chevrier, J.B. ; Mertens, Robert ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 53 (1996-05-01), S. 325-329
    Online unknown
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    High frequency surface acoustic wave resonator-based sensor for particulate matter detection
    Cole, Marina ; Gardner, Julian W. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 244 (2016-06-01), S. 138-145
    Online unknown
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    Characterization and strain gradient optimization of PECVD poly-SiGe layers for MEMS applications
    Gromova, Maria ; Mehta, A. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, 2006-08-01, S. 403-410
    Online unknown
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    Silicon thin-film UV filter for NADH fluorescence analysis
    Iordanov, V.P. ; Lubking, G.W. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, 2002-04-01, S. 161-166
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A differential capacitive low-g microaccelerometer with mg resolution
    Xu, Jian ; Logeeswaran, V. J. ; et al.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 86 (2000-10-01), S. 45-51
    Online unknown
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    A fast liquid flow sensor with thermal isolation by oxide-filled trenches
    Kersjes, Ralf ; Mokwa, W.
    In: Sensors and Actuators A: Physical, Jg. 47 (1995-03-01), S. 373-379
    Online unknown
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