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    Photovoltaic characteristics of a-C:H films prepared by plasma CVD
    Aoki, Y. ; Iwashige, K. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 407-407
    Konferenz
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    HDP-CVD STI gap-fill using the parallel resonance antenna
    Jeong Beom Lee ; Jeong Hoon Han ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 421-421
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Microcrystalline silicon growth using a inductive coupled plasma CVD on plastic substrate
    Kim, D.Y. ; Seo, C.K. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 426-426
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Improving plasma characteristic and depositing high-quality diamond film in surface wave plasma CVD
    Kim, J. ; Katsurai, M.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 127-127
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Design of HDP CVD ceramic liners for plasma sources
    Cheng, Wing ; Kudriavtsev, A. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 191-191
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Dual CVD-PECVD microwave powered fluidized bed reactor
    Tap, R. ; Willert-Porada, M.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 127-127
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Hot-wire CVD grown microcrystalline silicon films with and without initial growing layer modification by inductive coupled plasma
    Kim, D.Y. ; Moon, S.I. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 229-229
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Low temperature DC plasma CVD diamond and diamond-like carbon thin films
    Ramos, H.J. ; Malapit, G.M. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 264-264
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Deposition of Ti-DLC films by arc-glow hybrid plasma CVD
    Ohtake, N. ; Taniguchi, N. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 360-360
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Optical spectroscopy of CH/sub 4//H/sub 2/ and C/sub 2/H/sub 2//H/sub 2/ plasma generated in an RF planar coil inductively coupled plasma system used for CVD diamond deposition
    Tan, C.H. ; Ng, K.H. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 412-412
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Visible photoluminescence from a-Si based alloy (a-SiN/sub x/) thin films deposited by plasma enhanced CVD
    Choi, J.K. ; Heo, D. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 425-425
    Konferenz
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    Progress in the 10 MW ECRH system for the stellarator W7-X
    Dammertz, C. ; Erckmann, V. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 381-381
    Konferenz
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    a-C:F:H film with low k and high thermal stability deposited by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition at room temperature
    Xin, Y. ; Xu, S.H. ; et al.
    In: The 30th International Conference on Plasma Science, 2003. ICOPS 2003. IEEE Conference Record -, 2003, S. 406-406
    Konferenz
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