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    High Mass and Spatial Resolution Mass Sensor based on Resonating Nano-Cantilevers Integrated with CMOS
    Davis, Z. J. ; Abadal, G. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 72-75
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    Embedded Solenoid Inductors for RF CMOS Power Amplifiers
    Yoon, Yong-Kyu ; Chen, Emery ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1086-1089
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    CMOS Micromachined Infrared Imager Pixel
    Lakdawala, Hasnain ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 556-559
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    Plastic BGA Package and Direct Filter Attachment for CMOS Thermal Imagers
    Waelti, M. ; Schaufelbühl, A. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 198-201
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    A Vertical Hall Device in CMOS High-Voltage Technology
    Schurig, E. ; Demierre, M. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 140-143
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    Copper Interconnect Low-K Dielectric Post-CMOS Micromachining
    Zhu, X. ; Santhanam, S. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1520-1523
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    An Accurate CMOS Smart Temperature Sensor with Dynamic Element Matching and Second-Order Curvature Correction
    Pertijs, Michiel A. P. ; Bakker, Anton ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 80-83
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    Poly SiGe, a Promising Material for MEMS Post-Processing on Top of Standard CMOS Wafers
    Sedky, Sherif ; Witvrouw, Ann ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 960-963
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    CMOS integrated wavefront sensor
    de Lima Monteiro, Davies W. ; Vdovin, Gleb ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 532-535
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Temperature Dependent Thermal Conductivities of CMOS Layers by Micromachined Thermal van der Pauw Test Structures
    Hafizovic, S. ; Paul, O. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1370-1373
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    CMOS 10-Cantilever Array for Constant-Force Parallel Scanning AFM
    Lange, D. ; Zimmermann, M. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1046-1049
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    High temperature pressure sensor with monolithically integrated CMOS readout circuit based on SIMOX technology
    Kasten, Klaus ; Kordas, Norbert ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 510-513
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Methods for Fabrication of Released Nickel Comb-Drive Devices on CMOS
    Yalçinkaya, Arda D. ; Ravnkilde, Jan T. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 600-603
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A 256-Site 3D CMOS Microelectrode Array for Multipoint Stimulation and Recording in the Central Nervous System
    Gingerich, Marcus D. ; Hetke, Jamille F. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 416-419
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    A 3-Dimensional Wafer-Level Stacking Technology with Precise Vertical Interconnections to MEMS Applications
    Park, K. T. ; Lee, K. W. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1562-1565
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Photochemical Reaction By Nanometer-scale Light Emitting Diode-Antifuses
    LeMinh, P. ; Holleman, J. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 544-547
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    Layout Extraction for Integrated Electronics and MEMS Devices
    Baidya, Bikram ; Mukherjee, Tamal ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 280-283
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    Retina Implant — A BioMEMS Challenge
    Meyer, J.-Uwe ; Obermeier, Ernst [Ed.]
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 12-18
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    SOI-based Micro-hotplate Microcalorimeter Gas Sensor With Integrated BiCMOS Transducer
    Gardner, J. W. ; Covington, J. A. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1660-1663
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    A Miniaturized, Autonomous, Programmable Stress Monitoring Device, part of a Dental Prosthesis
    Puers, R. ; Claes, W. ; et al.
    In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 52-55
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