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In: AIP Conference Proceedings, Jg. 2748 (2023-05-15), Heft 1, S. 1-8KonferenzZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 42 (2024-03-01), Heft 2, S. 1-7academicJournalZugriff: