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    Sol-Gel and CVD Co3O4 Thin Films Characterized by XPS
    Armelao, Lidia ; Tondello, Eugenio ; et al.
    In: Surface Science Spectra, Jg. 8 (2001), S. 14-23
    Online unknown
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    Area selective CVD of metallic films from molybdenum, iron, and ruthenium carbonyl precursors: Use of ammonia to inhibit nucleation on oxide surfaces
    Girolami, Gregory S. ; Liu, Sumeng ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A, Jg. 36 (2018-07-01), S. 041507-41507
    Online unknown
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    LaCoO3 Nanosystems by a Hybrid CVD/Sol-Gel Route: An XPS Investigation
    Maragno, Cinzia ; Tondello, Eugenio ; et al.
    In: Surface Science Spectra, Jg. 10 (2003-12-01), S. 143-149
    Online unknown
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    CVD Cu2O and CuO Nanosystems Characterized by XPS
    Barreca, Davide ; Gasparotto, Alberto ; et al.
    In: Surface Science Spectra, Jg. 14 (2007-12-01), S. 41-51
    Online unknown
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    Direct growth of HfO2 on graphene by CVD
    Lupina, Grzegorz ; Kaiser, David ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, Jg. 33 (2015), S. 01A110
    Online unknown
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    Characterization of Ru thin films from a novel CVD/atomic layer deposition precursor 'Rudense' for capping layer of Cu interconnects
    Oike, Hiroyuki ; Chiba, Hirokazu ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 33 (2015), S. 01A133
    Online unknown
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    Toroidal plasma enhanced CVD of diamond films
    Basnett Andrew Francis ; Basnett, Robert J. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 32 (2014-09-01), S. 050605-50605
    Online unknown
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Low-temperature CVD of iron, cobalt, and nickel nitride thin films from bis[di(tert-butyl)amido]metal(II) precursors and ammonia
    Davis, Luke M. ; Abelson, John R. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 32 (2014-03-01), S. 020606-20606
    Online unknown
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Low-temperature CVD of η-Mn3N2−xfrom bis[di(tert-butyl)amido]manganese(II) and ammonia
    Spicer, Teresa S. ; Abelson, John R. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 31 (2013-05-01), S. 030604-30604
    Online unknown
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Copper diffusion barrier properties of CVD boron carbo-nitride
    Sun, Y.-M. ; White, J. M. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 23 (2005), S. 463-463
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Structure/property/process relationships in chemical vapor deposition CVD
    Blocher, John M.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 11 (1974-07-01), S. 680-686
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Possible selective solar photothermal absorber: Ni dendrites formed on Al surfaces by the CVD of Ni (CO)4
    Herr, K. C. ; Grimmer, D. P. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 15 (1978), S. 59-64
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Interrelationships between process parameters, structure, and properties of CVD tungsten and tungsten–rhenium alloys
    Holman, William R. ; Huegel, Frank J.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 11 (1974-07-01), S. 701-708
    Online unknown
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Hg1−xCdxTe native oxide reduction by CVD SiO2
    Kvaas, Robert E. ; Rhiger, David R.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 21 (1982-07-01), S. 448-452
    Online unknown
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    Remote plasma enhanced CVD deposition of silicon nitride and oxide for gate insulators in (In, Ga)As FET devices
    Markunas, Robert J. ; Richard, P. D. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 3 (1985-05-01), S. 867-872
    Online unknown
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    Partial pressure of TiCl4 in CVD of TiN
    Peterson, John R.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 11 (1974-07-01), S. 715-718
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Summary Abstract: Permeation of hydrogen through CVD silicon carbide
    Sinharoy, S. ; Lange, W. J.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 2 (1984-04-01), S. 636-637
    Online unknown
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    Abstract: Microstructures and properties of CVD tungsten and some tungsten alloys
    Byrne, J. G.
    In: Journal of Vacuum Science and Technology, Jg. 11 (1974-07-01), S. 700-700
    Online unknown
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    XPS characterization of Mn2O3 nanomaterials functionalized with Ag and SnO2
    Gasparotto, Alberto ; Barreca, Davide ; et al.
    In: Surface Science Spectra, Jg. 27 (2020-08-13), S. 024004-24004
    Online unknown
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    ZnO-based nanocomposites prepared by a vapor phase route, investigated by XPS
    Bigiani, Lorenzo ; Carraro, Giorgio ; et al.
    In: Surface Science Spectra, Jg. 25 (2018-12-01), S. 024005-24005
    Online unknown
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