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  1. Harvey, Steven P. ; Teeter, Glenn ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A, Jg. 37 (2019-05-01), S. 031202-31202
    Online unknown
  2. Badraddin, Emad ; Karabacak, Tansel ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A, Jg. 38 (2020-12-01), S. 062801-62801
    Online unknown
  3. Call, N. ; Jones, Kim M. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 28 (2010-07-01), S. 665-670
    Online unknown
  4. Lopez, Roberto ; Repins, Ingrid ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, Jg. 36 (2018-03-01), S. 022904-22904
    Online unknown
  5. Kulkarni, Sachin S. ; Kadam, Ankur A. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 21 (2003-07-01), S. 1442-1446
    Online unknown
  6. Brozak, Matthew ; Badradeen, Emad ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 35 (2017-05-01), S. 03E112
    Online unknown
  7. Sundaramoorthy, R. ; Unold, Thomas ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 30 (2012-07-01), S. 04D111
    Online unknown
  8. Liao, D. X. ; Bradley, S. T. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 20 (2002), S. 2441-2441
    Online unknown
  9. Shafarman, William N. ; Delahoy, Alan E. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 24 (2006-07-01), S. 1524-1529
    Online unknown
  10. Dhere, Neelkanth G. ; Dhere, Ramesh
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 23 (2005-07-01), S. 1208-1214
    Online unknown
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