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  1. URANGA, A ; VERD, J ; et al.
    In: Proceedings of the 32nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering, Barcelona, 17-20 September 2006, Jg. 84 (2007), Heft 5-8, S. 1374-1378
    Konferenz
  2. SONG, S. C ; ZHANG, Z ; et al.
    In: Proceedings of the International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2005) Symposium H: Silicon microelectronics: processing to packaging, Singapore, July 3-8, Jg. 504 (2006), Heft 1-2, S. 170-173
    Konferenz
  3. REN, C ; FAIZHAL, B. B ; et al.
    In: Proceedings of the International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2005) Symposium H: Silicon microelectronics: processing to packaging, Singapore, July 3-8, Jg. 504 (2006), Heft 1-2, S. 174-177
    Konferenz
  4. PARK, Dae-Sik ; KIM, Jung-Hwan ; et al.
    In: Selected papers from the Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Jg. 108 (2003), Heft 1-3, S. 75-80
    Konferenz
  5. HUIKAI, XIE ; FEDDER, Gary K
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 212-221
    Konferenz
  6. NEUMANN, John J ; GABRIEL, Kaigham J
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 175-182
    Konferenz
  7. TOKASHIKI, Ken ; BAI, Keunhee ; et al.
    In: Proceedings of the International Symposium on Dry Process (DPS 2005), Jeju, Korea, November 28-30, Jg. 515 (2007), Heft 12, S. 4864-4868
    Konferenz
  8. TAKAGI, Shin-Ichi ; MIZUNO, Tomohisa ; et al.
    In: Proceedings of the First International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2003), From Materials and Process Technology to Device and Circuit Technology Nagoya University Symposion, Jg. 224 (2004), Heft 1-4, S. 241-247
    Konferenz
  9. HONER, Kenneth A ; KOVACS, Gregory T. A
    In: Selected papers from the Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensors and Actuators Workshop, Hilton Head Island, SC, USA, 4-8 June, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 386-397
    Konferenz
  10. BALTES, Henry ; BRAND, Oliver
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 1-9
    Konferenz
  11. QIU, Y. Y ; AZEREDO-LEME, C ; et al.
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 80-87
    Konferenz
  12. KORNEEV, Alexander ; LIPATOV, A ; et al.
    In: Proceedings of the Symposium and Summer School on: Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Opportunities in Russia, Jg. 69 (2003), Heft 2-4, S. 274-278
    Konferenz
  13. FERRI, G ; D'AMICO, A ; et al.
    In: Proceedings of Eurosensors XIII, The Hague, Jg. 85 (2000), Heft 1-3, S. 232-238
    Online Konferenz
  14. GUILLOU, D. F ; SANTHANAM, S ; et al.
    In: Proceedings of Eurosensors XIII, The Hague, Jg. 85 (2000), Heft 1-3, S. 346-355
    Online Konferenz
  15. HYNES, E ; O'NEILL, M ; et al.
    In: Proceedings of EUROSENSORS XII, Southampton, 13-16 September 1998. Part I, Jg. 76 (1999), Heft 1-3, S. 283-292
    Online Konferenz
  16. FERRI, G ; DE LAURENTIIS, P ; et al.
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 263-272
    Konferenz
  17. KASTEN, K ; AMELUNG, J ; et al.
    In: Proceedings of Eurosensors XIII, The Hague, Jg. 85 (2000), Heft 1-3, S. 147-152
    Online Konferenz
  18. BELLEKOM, S
    In: Proceedings of EUROSENSORS XII, Southampton, 13-16 September 1998. Part I, Jg. 76 (1999), Heft 1-3, S. 178-182
    Online Konferenz
  19. DAI, Ching-Liang ; KAO, Pin-Hsu ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 39 (2008), Heft 5, S. 744-749
    academicJournal
  20. CHEN, LI ; HUAILIN, LIAO ; et al.
    In: Solid-state electronics, Jg. 51 (2007), Heft 6, S. 989-994
    academicJournal
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