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    New High Efficiency Heater Design for a 3-axis CMOS MEMS Convective Accelerometer
    Nouet, Pascal ; Mezghani, Brahim ; et al.
    2020
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    CMOS implementation of a 3-axis thermal convective accelerometer
    Nouet, Pascal ; Huy Binh Nguyen ; et al.
    2014
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Slow-Wave Distributed MEMS Phase Shifter in CMOS for Millimeter-Wave Applications
    Marcelo Nelson Páez Carreño ; Ferrari, Philippe ; et al.
    2014
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Sensitivity and power modeling of CMOS mems single axis convective accelerometers
    Rekik, A.A. ; Mailly, Frédérick ; et al.
    2013
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Modeling and simulation of CMOS integrated MEMS: application to low-cost sensors
    Nouet, Pascal ; Latorre, Laurent ; et al.
    2012
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    RF reactive sputtering AlN thin film at room temperature for CMOS-compatible MEMS application
    He, Le-Ming ; Liu, Wen-Juan ; et al.
    2017
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Characterization of IN-IC integrable in-plane nanometer scale resonators fabricated by a silicon on nothing advanced CMOS technology
    Renaud, D. ; Durand, Cedric ; et al.
    2008
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    A CMOS compatible ultrasonic transducer fabricated with deep reactive ion etching
    Mir, Salvador ; Rufer, Libor ; et al.
    2006
    Online unknown
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    CMP service for prototyping and low volume production
    Torki, K. ; Courtois, Bernard ; et al.
    2005
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Highly Flexible Membrane Systems for Micromachined Microphones – Modeling and Simulation
    Mezghani, Brahim ; Tounsi, Fares ; et al.
    2009
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Silicon oxynitride waveguides developed for opto–mechanical sensing functions
    Sabac, Andrei ; Gorecki, Christophe ; et al.
    2003
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    MEMS resonator temperature compensation
    Ollier, Eric ; Durand, Cedric ; et al.
    2010
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Fabrication and characterization of resonant SOI micromechanical silicon sensors based on DRIE micromachining, freestanding release process and silicon direct bonding
    Gigan, Olivier ; Chen, Hua ; et al.
    2002
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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