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    CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review.
    Pinto, Rui M. R. ; Gund, Ved ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-08-01), Heft 4, S. 500-523
    Online academicJournal
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips.
    Tsiamis, Andreas ; Li, Yifan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 1245-1252
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Design Considerations for CMOS-Integrated Hall-Effect Magnetic Bead Detectors for Biosensor Applications.
    Skucha, K. ; Gambini, S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), Heft 6, S. 1327-1338
    Online academicJournal
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators.
    Zalalutdinov, Maxim K. ; Cross, Joshua D. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Glass and Quartz Microscintillators for CMOS-Compatible Multispecies Radiation Detection.
    Waguespack, Randy P. ; Pellegrin, Scott M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1192-1200
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology.
    Xu, Dehui ; Xiong, Bin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-12-01), Heft 6, S. 1331-1340
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Stability and Failure Analysis of a W-Based Microhotplate.
    Yu, Jun ; Li, Zhongzhou ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-12-01), Heft 6, S. 951-959
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Piezoelectric Deactuation-Based Bi-Stable MEMS Switch: MEM-Z NVM.
    Arya, Dhairya Singh ; Kumar, Sushil ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-10-01), Heft 5, S. 683-685
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Resonant Magnetic Field Sensor With Frequency Output.
    Sunier, Robert ; Vancura, Tobias ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1098-1107
    Online academicJournal
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    A Vertically Coupled MEMS Resonator Pair for Oscillator Applications.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 528-530
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Deterministic Design of Thin-Film Heaters for Precise Spatial Temperature Control in Lab-on-Chip Systems.
    Martinez-Quijada, Jose ; Caverhill-Godkewitsch, Saul ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-06-01), Heft 3, S. 508-516
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    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD).
    Li, Yifan ; Parkes, William ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-12-01), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
    Zugriff:
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