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    Modal pattern analysis and experimental investigation of multimode interferometric sensing : a path to fully integrated silicon-CMOS-based chem/bio sensors
    LILLIE, J. J ; THOMAS, M. A ; et al.
    In: LEOS 2004 (17th Annual Meeting), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    A high resolution, stictionaless, CMOS compatible SOI accelerometer with a low noise low power, 0.25μm CMOS interface
    BABAK VAKILI, AMINI ; POURKAMALI, Siavash ; et al.
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2004 technical digest), 2004, S. 572-575
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Novel high growth rate processes for depositing poly-sige structural layers at CMOS compatible temperatures
    MEHTA, A ; GROMOVA, M ; et al.
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2004 technical digest), 2004, S. 721-724
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Low phase noise CMOS distributed oscillators using MEMS low loss transmission lines
    PARK, Eun-Chul ; SONG, Taek-Sang ; et al.
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2004 technical digest), 2004, S. 645-648
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    A thermal conductivity based humidity sensor in a standard CMOS process
    OKCAN, Burak ; AKIN, Tayfun
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2004 technical digest), 2004, S. 552-555
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Temperature control of CMOS micromachined sensors
    LAKDAWALA, Hasnain ; FEDDER, Gary K
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 324-327
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Cmos single-chip multisensor gas detection system
    HAGLEITNER, C ; LANGE, D ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 244-247
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    CMOS MEMS: Present and future
    BALTES, Henry ; BRAND, Olivier ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 459-466
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    A copper CMOS-MEMS Z-axis gyroscope
    HAO, LUO ; XU, ZHU ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 631-634
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Simultaneous fabrication of RF mems switches and resonators using copper-based cmos interconnect manufacturing methods
    JAHNES, C. V ; COTTE, J ; et al.
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2004 technical digest), 2004, S. 789-792
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Micromachined CMOS magnetic field sensors with low-noise signal conditioning
    BEROULLE, Vincent ; BERTRAND, Yves ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 256-259
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Magnetic actuation and MOS-transistor sensing for CMOS-integrated resonators
    LANGE, D ; HAGLEITNER, C ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 304-307
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A scs cmos micromirror for optical coherence tomographic imaging
    HUIKAI, XIE ; YINGTIAN, PAN ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 495-498
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A hybrid silicon-on-glass (SOG) lateral micro-accelerometer with CMOS readout circuitry
    JUNSEOK, CHAE ; KULAH, Haluk ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 623-626
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Digital sound reconstruction using arrays of CMOS-MEMS microspeakers
    DIAMOND, Brett M ; NEUMANN, John J ; et al.
    In: MEMS 2002 : micro electro mechanical systems (Las Vegas NV, 20-24 January 2002), 2002, S. 292-294
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Performance comparison of pH sensors fabricated in a CMOS process
    LEE, Linda A ; MARX, Steve R ; et al.
    In: IEEE Sensors 2004 (proceedings), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Dew-point relative humidity CMOS microsensors
    BAGLIO, S ; CASTORINA, S ; et al.
    In: IEEE Sensors 2004 (proceedings), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    CMOS magnetic sensor arrays using native-substrate MAGFETs for a smart rotary encoder
    TAKAHASHI, Toru ; NAKANO, Kazuhiro ; et al.
    In: IEEE Sensors 2004 (proceedings), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    CMOS biosensor with guided cell growth
    FRANKS, W ; HEER, F ; et al.
    In: IEEE Sensors 2004 (proceedings), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    CMOS APS crosstalk : Modeling, technology and design trends
    IGOR, Shcherback ; ALEX, Belenky ; et al.
    In: IEEE Sensors 2004 (proceedings), 2004
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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