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    A Single-Chip CMOS-MEMS CMUT Array Transceiver With Low Bias
    Chen, Hung-Yu ; Chan, Yung-Shun ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 136-139
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Novel Terraced Cavities Design on IR-Absorber Surface for CMOS-MEMS Thermoelectric Infrared Sensor
    Li, Yung-Chen ; Huang, Yuanyuan ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1473-1476
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Temperature Compensation In Cmos-Mems Oscillators Via Folded-Anchor Resonator Geometrical Tuning
    Perello-Roig, Rafel ; Barcelo, Salvador ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 513-516
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    MOSFET-Based and P-N Diode Based Temperature Sensor in a 4H-SiC CMOS Technology
    Mo, Jiarui ; Li, Jinglin ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 201-204
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    An Intrinsically Temperature-Compensated Fully Differential CMOS-MEMS Resonator with Dual-Resistor Piezoresistive Detection
    Lee, Zhi-Qiang ; Jiang, Jie-Sheng ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 577-580
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Fabrication of High-Density Micro-Bump Arrays for 3D Integration of MEMS and CMOS
    Shi, Yunfan ; Wang, Zilin ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1488-1491
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Lab-on-CMOS Resonant Micro-Calorimeter
    Perello-Roig, Rafel ; Verd, Jaume ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 144-147
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Multi Heat-Sink CMOS-BEOL Integrated MEMS Pirani Gauge for Vacuum Detection in Packaged Microsensors
    Garg, Manu ; Tsai, Fang Wei ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 2173-2176
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    A CMOS-MEMS based Multipixel Gas Sensor Design
    Goel, Nishit ; Gurin, Ilya ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1141-1144
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A CMOS-MEMS Three-Axis Magnetic Sensor with a Ferromagnetic Concentrator
    Lai, Yun-Wen ; Yang, Yu-Lin ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1547-1550
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Development of a High Sensitivity, Wide Range CMOS Capacitive DNA Sensor Array
    Lai, Po-Hsuan ; Tseng, Lien-Sing ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 931-934
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Sensing Beyond the Debye Length: Development of A Highly Sensitive, Wide-Range Cmos Dna Sensor Array
    Tseng, Lien-Sing ; Lai, Po-Hsuan ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1020-1023
    Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Monolithic CMOS-Compatible CO2 Sensor with Thermal Source and Detector
    Consani, Cristina ; Barlier, Nathanael ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1453-1456
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    CMOS Gas-Sensing Array by Novel Sensing Approach Using Mixed-Pixel-Architecture for Detection of Various Response of Gas-Sensitive Membranes
    Wada, Takeru ; Kamijo, Tomoki ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 573-576
    Konferenz
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Monolithically Vertical Integration with Capacitive Proximity and Inductive Force Sensor with Sensing Range Enhancement
    Mai, Ruei-Cing ; Shih, Fuchi ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 302-305
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Monolithic Fabrication of Nano Gap Electrodes for Single-Molecule Biosensing
    Chaudhuri, Ashesh Ray ; Choi, Chulmin ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 773-775
    Konferenz
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    A 3D Self-Roll Inductor Based on Al-SiO2 Bimorphs
    Yang, Hengzhang ; Gao, Jian ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 845-848
    Konferenz
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Monolithic Integration Of Gas/Humidity/Temperature Sensors With Thermal Coupling Effect Reduction
    Fang, Chi-Te ; Chien, Tung-Lin ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 505-508
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    On MEMS Wafer Assessment for Switching Devices Exposed to Direct Metal-Contacts and Thermal Histories
    Kumar, Sushil ; Arya, Dhairya Singh ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 899-902
    Konferenz
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Fabrication and Demonstration of Filter-Free Wavelength Image Sensor for Visualization of Wavelength Information
    Ide, Tomoya ; Choi, Yong-Joon ; et al.
    In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 607-610
    Konferenz
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