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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    YI, CHIU ; HONG, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1285-1295
    Online academicJournal
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    Wie komme ich dran?
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    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A Multimetal Surface Micromachining Process for Tunable RF MEMS Passives
    YONGHYUN, SHIM ; ZHENGZHENG, WU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 4, S. 867-874
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    A single-crystal silicon symmetrical and decoupled MEMS gyroscope on an insulating substrate
    ALPER, Said Emre ; AKIN, Tayfun
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 14 (2005), Heft 4, S. 707-717
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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