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    Plasma-enhanced CVD of organosilicate glass (OSG) films deposited from octamethyltrisiloxane, bis(trimethylsiloxy)methylsilane, and 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane
    QINGGUO, WU ; GLEASON, Karen K
    In: Plasmas and polymers, Jg. 8 (2003), Heft 1, S. 31-41
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Thin films deposition from hexamethyldisiloxane and hexamethyldisilazane under Dielectric-Barrier discharge (DBD) conditions
    SCHMIDT-SZALOWSKI, K ; RZANEK-BOROCH, Z ; et al.
    In: Plasmas and polymers, Jg. 5 (2000), Heft 3-4, S. 173-190
    Online Konferenz
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    Wie komme ich dran?
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    GC-MS investigation of hexamethyldisiloxane-oxygen fed plasmas
    FRACASSI, F ; D'AGOSTINO, R ; et al.
    In: Plasmas and polymers, Jg. 8 (2003), Heft 4, S. 259-269
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Self-organization and dynamics of nanoparticles in chemically active plasmas for low-temperature deposition of silicon and carbon-based nanostructured films
    VLADIMIROV, S. V ; OSTRIKOV, K
    In: Plasmas and polymers, Jg. 8 (2003), Heft 2, S. 135-152
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Analysis of low-k organosilicon and low-density silica films deposited in HMDSO plasmas
    BORVON, G ; GOULLET, A ; et al.
    In: Plasmas and polymers, Jg. 7 (2002), Heft 4, S. 341-352
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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    Deposition of SiOx films from hexamethyldisiloxane/oxygen radiofrequency glow discharges: Process optimization by plasma diagnostics
    CREATORE, Mariadriana ; PALUMBO, Fabio ; et al.
    In: Plasmas and polymers, Jg. 7 (2002), Heft 3, S. 291-310
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated amorphous carbon thin films from tetrafluoroethylene and tetraisocyanatesilane
    SHIRAFUJI, T ; NAKAGAMI, Y ; et al.
    In: Plasmas and polymers, Jg. 3 (1998), Heft 2, S. 115-127
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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