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    Incorporation of dopants in epitaxial SiC layers grown with fluorinated CVD chemistry
    Janzén, Erik ; Pedersen, Henrik ; et al.
    2017
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Growth Mechanism of SiC Chemical Vapor Deposition: Adsorption and Surface Reactions of Active Si Species
    Ojamäe, Lars ; Kordina, Olof ; et al.
    2018
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Defects in silicon carbide grown by fluorinated chemical vapor deposition chemistry
    Pedersen, Henrik ; Karhu, Robin ; et al.
    2018
    Online unknown
    Zugriff:
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Ab Initio Study of Growth Mechanism of 4H-SiC: Adsorption and Surface Reaction of C2H2, C2H4, CH4, and CH3
    Kordina, Olof ; Danielsson, Örjan ; et al.
    2017
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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    Finding the Optimum Chloride-Based Chemistry for Chemical Vapor Deposition of SiC
    Kordina, Olle ; Janzén, Erik ; et al.
    2014
    Online unknown
    Zugriff:
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    On the effect of water and oxygen in chemical vapor deposition of boron nitride
    Chubarov, Mikhail ; Högberg, Hans ; et al.
    2012
    Online unknown
    Zugriff:
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -