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    Mix-and-match e-beam/DUV lithography: combining the higher resolution and patterning flexibility of electron beam systems with high-throughput DUV scanners in a mix-and-match system speeds exploration of designs several generations ahead of leading edge production. Electron beam and DUV lithography tools can be compatible and complementary.
    Pfeiffer, Hans C.
    In: Microlithography World, Jg. 16 (2007-02-01), Heft 1, S. 4
    Online serialPeriodical
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    Calcium fluoride micro-optics improve DUV excimer laser systems: using non-traditional etching techniques, it is possible to fabricate diffractive/refractive calcium-fluoride (Ca[F.sub.2]) micro-optics for deep-UV excimer laser systems that can increase the lifetime and reduce the servicing time of these systems.
    Wielsch, Uwe ; Kanzler, Kurt ; et al.
    In: Laser Focus World, Jg. 47 (2011-05-01), Heft 5, S. 4
    Online serialPeriodical
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    Membrane compatibility for nanofiltration applications in DUV lithography.
    Zhang, Haizheng ; Ayubali, Mufadal ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 51 (2008-02-01), Heft 2, S. 5
    Online serialPeriodical
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    DUV nanolithography enables advanced diffraction-grating arrays: advances in deep-ultraviolent reduction-lithographic fabrication have made possible diffraction-granting arrays with inherent spectral and spatial self-calibration features. The arrays can be used for instantaneous ultrawide-spectral coverage and other applications.
    Greiner, Christoph M. ; Mossberg, Thomas W. ; et al.
    In: Laser Focus World, Jg. 43 (2007-11-01), Heft 11, S. 4
    Online serialPeriodical
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    Volltext (PDF)
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    Making 50nm contact holes with DUV.
    Suhm, Karen ; Baker, Dan ; et al.
    In: Microlithography World, Jg. 12 (2003-08-01), Heft 3, S. 4
    Online serialPeriodical
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    Photostabilization: comparing DUV and i-line. (Resists).
    Mohondro, Robert
    In: Solid State Technology, Jg. 46 (2003-02-01), Heft 2, S. 4
    Online serialPeriodical
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    Accurate measurements in the DUV PEB process. (Thermal Processing).
    Cohen, Barney ; Sun, Mei
    In: Solid State Technology, Jg. 46 (2003), Heft 1, S. 4
    Online serialPeriodical
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    DUV micro-objectives.
    In: Laser Focus World, Jg. 37 (2001-10-01), Heft 10, S. 139
    Online serialPeriodical
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    DUV laser.
    In: Laser Focus World, Jg. 37 (2001-10-01), Heft 10, S. 139
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    Purged gas purification for contamination control of DUV stepper lenses.
    Barzaghi, Serena ; Pilenga, Alberto ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 44 (2001-09-01), Heft 9, S. 99
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    The impact of airborne molecular bases on DUV photoresists.
    Ruede, David ; Ereken, Monique ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 44 (2001-08-01), Heft 8, S. 63
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    DUV antireflective coatings.
    In: Solid State Technology, Jg. 44 (2001-04-01), Heft 4, S. 137
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    DUV step-and-scan system.
    In: Solid State Technology, Jg. 44 (2001-04-01), Heft 4, S. 131
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    DUV microscope.
    In: Solid State Technology, Jg. 44 (2001-02-01), Heft 2, S. 128
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    DUV inspection and defect origin analysis for 22nm spacer self-aligned double-patterning.
    Montal, Ofir ; Dotan, Kfir ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 53 (2010-07-01), Heft 7, S. 3
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    Improve yields, enhance CDs with integrated DUV resist track.
    Krishna, Murthy ; Gurer, Emir ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-10-01), Heft 10, S. 135
    Online serialPeriodical
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    DUV thick-film photoresist.
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-06-01), Heft 6, S. 262
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    SC300 finds DUV problems.
    Haavind, Bob
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-06-01), Heft 6, S. 46
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    DUV step-and-scan tool.
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-06-01), Heft 6, S. 253
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    Tracking down causes of DUV sub-pellicle defects [*].
    Grenon, Brian J. ; Peters, Charles R. ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-06-01), Heft 6, S. 159
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xs 0 - 576
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