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    Extending Lifetime of Critical Seals in HDP-CVD Processes.
    In: Semiconductor International, Jg. 31 (2008-03-01), Heft 3, S. 45-47
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    Single-Wafer CVD Cluster.
    In: Semiconductor International, Jg. 33 (2010-03-01), Heft 3, S. 28-28
    Online serialPeriodical
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    CVD System.
    In: Semiconductor International, Jg. 28 (2005-11-01), Heft 12, S. 71-71
    Online serialPeriodical
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    Improving Electrical Performance Using SACVD Oxide Films.
    In: Semiconductor International, Jg. 31 (2008-04-01), Heft 6, S. 34-38
    Online serialPeriodical
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    Edge Treatment Important for Hard Masks.
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-08-01), Heft 9, S. 30-30
    Online serialPeriodical
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    Self-Aligned Barrier Improves Interconnect Reliability.
    In: Semiconductor International, Jg. 31 (2008-05-01), Heft 5, S. 34-37
    Online serialPeriodical
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    Ultralow-k Technology Moves Forward.
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-10-01), Heft 11, S. 41-44
    Online serialPeriodical
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    Has the Challenge of PFCs Really Been Solved?
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-10-01), Heft 11, S. 67-72
    Online serialPeriodical
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    Guiding Chamber Cleaning By FDC, APC.
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-10-01), Heft 11, S. 74-79
    Online serialPeriodical
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    Reduce Vent-Up Times on Loadlock Chambers.
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-03-01), Heft 3, S. 60-64
    Online serialPeriodical
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    Selective Removal of Hf-Based High-k Films.
    In: Semiconductor International, Jg. 29 (2006-04-01), Heft 4, S. 42-44
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    Ge Precursors for Strained Si and Compound Semiconductors.
    In: Semiconductor International, Jg. 29 (2006-04-01), Heft 4, S. 39-40
    Online serialPeriodical
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    CNTs Attractive Alternative for Interconnects.
    In: Semiconductor International, Jg. 30 (2007-05-01), Heft 5, S. 26-26
    Online serialPeriodical
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