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    Quantum optics with single nanowire quantum dots
    Kouwenhoven, Leo P. ; Harmand, J.C. ; et al.
    2010
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Compact lateral shearing interferometer based on circular modified Hartmann mask
    Tang, Feng ; Kamagara, Abel ; et al.
    In: Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications V, 2018-11-02
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    A birefringent phase-matching method in multilayered hyperbolic metamaterials
    Seesan, Thitiya ; Plaipichit, Suwan ; et al.
    In: Nonlinear Frequency Generation and Conversion: Materials and Devices XVII, 2018-02-15
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Novel spin-on metal hardmask materials for filling applications
    Cho, Joonyeon ; Wolfer, Elizabeth ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2014-03-27
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    A chemical underlayer approach to mitigate shot noise in EUV contact hole patterning
    Padmanaban, Munirathna ; Cho, Joonyeon ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2014-03-27
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Pattern collapse mitigation strategies for EUV lithography
    Wu, Chung-hsi J. ; Goldfarb, Dario L. ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2012-03-29
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    30nm half-pitch metal patterning using Moti CD shrink technique and double patterning
    Vandeweyer, Tom ; Zhu, Helen H. ; et al.
    In: Optical Microlithography XXI, 2008-03-14
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Manufacturability issues with double patterning for 50-nm half-pitch single damascene applications using RELACS shrink and corresponding OPC
    Maaike Op de Beeck ; Jan Van Olmen ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2007-03-16
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Spin-on metal oxide materials with high etch selectivity and wet strippability
    Her, YoungJun ; Hong, SungEun ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2016-03-25
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    New spin-on metal hardmask materials for lithography processes
    Cho, Joonyeon ; Mckenzie, Douglas ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2013-03-29
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Helmet-mounted sight system ODEN: the simple solution
    Friberg, Nicklas
    In: SPIE Proceedings, 1997-06-18
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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