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Publikation
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- proceedings of spie, the international society for optical engineering 20 Treffer
- spie proceedings series 17 Treffer
- photomask technology 2021 7 Treffer
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- 0annual bacus symposium on photomask technology 6 Treffer
- 25th annual bacus symposium on photomask technology (4-7 october, 2006, monterey, california, usa) 6 Treffer
- international conference on space optics - icso 2021 ; https://insu.hal.science/insu-03463977 ; international conference on space optics - icso 2021, mar 2021, online only, united states. pp.118521u, ⟨10.1117/12.2599326⟩ 6 Treffer
- photomask technology 2019 6 Treffer
- proceedings- spie the international society for optical engineering 6 Treffer
- optical microlithography xxxi 5 Treffer
- optical microlithography xxxiv 5 Treffer
- design-process-technology co-optimization xv 4 Treffer
- dtco and computational patterning iii 4 Treffer
- optical microlithography xxxiii 4 Treffer
- photomask technology 2018 4 Treffer
- remote sensing of clouds and the atmosphere xxvii. proceedings spie vol pc12265 ; https://insu.hal.science/insu-04252966 ; remote sensing of clouds and the atmosphere xxvii. proceedings spie vol pc12265, sep 2022, berlin, germany. ⟨10.1117/12.2636197⟩ 4 Treffer
- optical microlithography xix (21-24 february 2006, san jose, california, usa) 3 Treffer
- photomask technology 2020 3 Treffer
- photon processing in microelectronics and photonics ii (san jose ca, 27-30 january 2003) 3 Treffer
- spie proceedings ; 25th annual bacus symposium on photomask technology ; issn 0277-786x 3 Treffer
- design-process-technology co-optimization for manufacturability xiii 2 Treffer
- dtco and computational patterning 2 Treffer
- optical and euv nanolithography xxxv 2 Treffer
- photomask technology 2022 2 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xix ; issn 0277-786x 2 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxiii ; issn 0277-786x 2 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxiv ; issn 0277-786x 2 Treffer
- spie proceedings ; photomask technology 2010 ; issn 0277-786x 2 Treffer
- 27th european mask and lithography conference ; spie proceedings ; issn 0277-786x 1 Treffer
- 33rd european mask and lithography conference 1 Treffer
- optical microlithography xxi ; spie proceedings ; issn 0277-786x 1 Treffer
- photomask japan 2015: photomask and next-generation lithography mask technology xxii ; spie proceedings ; issn 0277-786x 1 Treffer
- photomask technology 2008 ; spie proceedings ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; biomedical sensing, imaging, and tracking technologies ii ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; design for manufacturability through design-process integration v ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; design-process-technology co-optimization for manufacturability ix ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; design-process-technology co-optimization for manufacturability x ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; lithography asia 2009 ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xx ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxii ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxvii ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxviii ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; optical microlithography xxx ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask and next-generation lithography mask technology xiii ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask and next-generation lithography mask technology xiv ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask and next-generation lithography mask technology xxi ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask japan 2016: xxiii symposium on photomask and next-generation lithography mask technology ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask japan 2017: xxiv symposium on photomask and next-generation lithography mask technology ; issn 0277-786x 1 Treffer
- spie proceedings ; photomask technology 2007 ; issn 0277-786x 1 Treffer
Sprache
Geographischer Bezug
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 12293 (2022), S. 1229306KonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11855 (2021), S. 118550TKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11614 (2021), S. 116140BKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11613 (2021), S. 116130MKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11613 (2021), S. 116130NKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11613 (2021), S. 116130PKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11327 (2020), S. 113270KKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11518 (2020), S. 115180WKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11327 (2020), S. 113270FKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11327 (2020), S. 1132706KonferenzZugriff:
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In: DTCO and Computational Patterning III, 2024KonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11148 (2019), S. 111480UKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 11148 (2019), S. 111480TKonferenzZugriff:
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In: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, Jg. 10962 (2019), S. 109620PKonferenzZugriff:
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In: Photomask Technology 2022, 2022-12-01Online unknownZugriff: