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    Capacitive effective thickness of a few nanometers by atomic layer deposition and device performance in Ge gate-all-around fin field effect transistors
    Yiin Kuen Fuh ; Bo Yuan Chen ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 14 (2015-10-13), S. 044501-44501
    Online unknown
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    Ge/IIIV fin field-effect transistor common gate process and numerical simulations
    Bo Yuan Chen ; Luo, Guang-Li ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 16 (2017-05-23), S. 024501-24501
    Online unknown
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    Simple integration process of single-layer nanowire gratings for polarization navigation sensor
    Liu, Ze ; Zhang, Ran ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 15 (2016-07-08), S. 034501-34501
    Online unknown
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    Fabrication and characterization of a microaccelerometer based on resonant-tunneling diodes
    Liu, Zewen ; Liu, Jun ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 15 (2016-01-19), S. 015001-15001
    Online unknown
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    Integrated polarization-dependent sensor for autonomous navigation
    Liu, Ze ; Li, Bin ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 14 (2015-02-17), S. 015001-15001
    Online unknown
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    Pulsed laser deposition of Al-doped ZnO films on glass and polycarbonate
    Teck Yong Tou ; Seong Shan Yap ; et al.
    In: Journal of Nanophotonics, Jg. 8 (2014-10-10), S. 084091-84091
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    Mask defect management in extreme-ultraviolet lithography
    Lu, Chi-Lun ; Hsu, Luke T. ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 13 (2014-06-16), S. 023010-23010
    Online unknown
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    Integrated blue-sensitive polarization-dependent photodetector
    Chu, Jinkui ; Wang, Zhiwen ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 12 (2013-07-11), S. 033005-33005
    Online unknown
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    Large-size <math display='inline' overflow='scroll'><mi>P</mi></math>-type silicon microchannel plates prepared by photoelectrochemical etching
    Tian, Fei ; Xin, Peisheng ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 8 (2009-07-01), S. 033012-33012
    Online unknown
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Research of radioisotope microbattery based on <math display='inline' overflow='scroll'><mi>β</mi></math>-radio-voltaic effect
    Lin, Hui ; Jian, Limin ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 8 (2009-04-01), S. 021180-21180
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    MEMS-based power disconnect for <math display='inline' overflow='scroll'><mrow><mn>42</mn><mtext>-</mtext><mi mathvariant='normal'>V</mi></mrow></math> automotive power systems
    Cleghorn, William L. ; Mills, James K. ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 7 (2008), S. 013010-13010
    Online unknown
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    Novel bilayer bottom antireflective coating structure for high-performance ArF lithography applications
    Chen, Hsuen-Li ; Chao, W. C. ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Jg. 1 (2002-04-01), S. 58-58
    Online unknown
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    Design, fabrication, test, and analysis of an out-of-plane plasmonic optical metasurface
    Adomanis, Bryan M. ; David Bruce Burckel ; et al.
    In: Journal of Nanophotonics, Jg. 15 (2021-02-12)
    Online unknown
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