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    Synthesis, characterization, and thermal properties of silicon(IV) compounds containing amidinate ligands as CVD precursors.
    Chu, Wenxiang ; Du, Liyong ; et al.
    In: Phosphorus, Sulfur & Silicon & the Related Elements, Jg. 191 (2016-09-01), Heft 9, S. 1280-1283
    academicJournal
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    The Nucleation and Growth of Nanocrystalline Diamond Films in Millimeter-Wave CVD Reactor.
    Chernov, V. V. ; Vikharev, A. L. ; et al.
    In: Fullerenes, Nanotubes & Carbon Nanostructures, Jg. 20 (2012-05-01), Heft 4-7, S. 600-605
    academicJournal
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    EFFECTS OF THERMAL DIFFUSION AND SUBSTRATE TEMPERATURE ON SILICON DEPOSITION IN AN IMPINGING-JET CVD REACTOR.
    Leakeas, C. L. ; Sharif, M. A. R.
    In: Numerical Heat Transfer: Part A -- Applications, Jg. 44 (2003-08-01), Heft 2, S. 127-147
    Online academicJournal
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    academicJournal
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    Phase evolution in nanocrystalline silicon films: Hydrogen dilution and the cone kinetics model.
    Stradins, Paul ; Teplin, Charles W. ; et al.
    In: Philosophical Magazine, Jg. 89 (2009-10-01), Heft 28-30, S. 2461-2468
    academicJournal
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    Hybrid micro-grinding process for manufacturing meso/micro-structures on monocrystalline silicon.
    Li, Wei ; Chen, Qidi ; et al.
    In: Materials & Manufacturing Processes, Jg. 36 (2021), Heft 1, S. 17-26
    Online academicJournal
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    Selective growth of nanodiamond films in microwave plasma.
    Albin, Sacharia ; Williams, FrancesR. ; et al.
    In: Composite Interfaces, Jg. 19 (2012-06-01), Heft 3/4, S. 179-187
    Online academicJournal
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    A new material platform of Si photonics for implementing architecture of dense wavelength division multiplexing on Si bulk wafer.
    Zhang, Ziyi ; Yako, Motoki ; et al.
    In: Science & Technology of Advanced Materials, Jg. 18 (2017), Heft 1, S. 283-293
    Online academicJournal
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    In-Situ Measurements of Charged Nanoparticles Generated During Hot Wire Chemical Vapor Deposition of Silicon Using Particle Beam Mass Spectrometer.
    Hong, Ju-Seop ; Kim, Chan-Soo ; et al.
    In: Aerosol Science & Technology, Jg. 47 (2013), Heft 1, S. 46-51
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    PECVD‐Grown Carbon Nanotubes on Silicon Substrates Suitable for Realization of Field‐Emission Devices.
    Koohsorkhi, J. ; Hoseinzadegan, H. ; et al.
    In: Fullerenes, Nanotubes & Carbon Nanostructures, Jg. 13 (2005-04-02), S. 355-364
    academicJournal
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