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  1. Fang, Weileun ; Chiu, Yi ; et al.
    In: 3D and Circuit Integration of MEMS, 2021-04-23, S. 131-220
    Online unknown
  2. Kobayashi, Koji ; Kadono, Takeshi ; et al.
    In: physica status solidi (a), Jg. 216 (2019-09-01), S. 1970058-1970058
    Online unknown
  3. DeVos, Brecht ; Kandaswamy, P. K. ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 11 (2014-02-01), S. 450-453
    Online unknown
  4. Moffatt, S. ; Wojcik, Greg ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 8 (2011-05-26), S. 2969-2972
    Online unknown
  5. Hirose, Ryo ; Kadono, Takeshi ; et al.
    In: physica status solidi (a), Jg. 214 (2017-05-26), S. 1700216-1700216
    Online unknown
  6. Okuyama, Ryosuke ; Hirose, Ryo ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 14 (2017-04-05), S. 1700036-1700036
    Online unknown
  7. Jaouad, Abdelatif ; Cordier, Yvon ; et al.
    In: physica status solidi (a), Jg. 213 (2016-02-29), S. 917-924
    Online unknown
  8. Chirn Chye Boon ; Shi, Xiaomeng ; et al.
    In: Microwave and Optical Technology Letters, Jg. 50 (2008), S. 713-715
    Online unknown
  9. Kreiliger, Thomas ; Hans von Känel ; et al.
    In: physica status solidi (a), Jg. 211 (2013-11-29), S. 131-135
    Online unknown
  10. Richtek, H. H. ; Adam, A. ; et al.
    In: Physica Status Solidi (a), Jg. 112 (1989-04-16), S. 721-726
    Online unknown
  11. Gregoire, Magali ; Nemouchi, Fabrice ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 13 (2016-09-21), S. 760-765
    Online unknown
  12. Zlatoljub D Milosavljevic ; Despont, Michel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 548-560
    Online unknown
  13. Isometsä, Joonas ; Vähänissi, Ville ; et al.
    In: Advanced Optical Materials, Jg. 8 (2020-03-29), S. 2000047-2000047
    Online unknown
  14. Issa, H. ; Kaddour, Darine ; et al.
    In: Microwave and Optical Technology Letters, Jg. 52 (2010-09-22), S. 2786-2789
    Online unknown
  15. Yin, Tao ; Morse, Mike ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 7 (2010-06-22), S. 2526-2531
    Online unknown
  16. Dimaki, Maria ; Bøggild, Peter
    In: physica status solidi (a), Jg. 203 (2006-05-01), S. 1088-1093
    Online unknown
  17. J. Gregory Couillard ; Hirschman, Karl D. ; et al.
    In: SID Symposium Digest of Technical Papers, Jg. 38 (2007-05-01), S. 287-289
    Online unknown
  18. Hu, Jie ; Brice De Jaeger ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 11 (2014-01-28), S. 862-865
    Online unknown
  19. Bender, Hugo ; Clemente, Francesca ; et al.
    In: physica status solidi (a), Jg. 208 (2010-11-02), S. 129-135
    Online unknown
  20. Storck, P. ; Müssig, H.-J. ; et al.
    In: physica status solidi c, Jg. 6 (2009-03-01), S. 653-662
    Online unknown
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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xxl 1366 -