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    Manufacturing and Characterization of Three-Axis Magnetic Sensors Using the Standard 180 nm CMOS Technology
    Wu, Chi-Han ; Shih, Po-Jen ; et al.
    In: Sensors, Jg. 21 (2021-10-01), Heft 21, S. 6953-6953
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    Resonant MEMS Pressure Sensor in 180 nm CMOS Technology Obtained by BEOL Isotropic Etching
    Mata-Hernandez, Diana ; Fernández, Daniel ; et al.
    In: Sensors, Jg. 20 (2020-10-01), Heft 21, S. 6037-6037
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    Miniaturized 0.13-μm CMOS Front-End Analog for AlN PMUT Arrays
    Zamora, Iván ; Ledesma, Eyglis ; et al.
    In: Sensors, Jg. 20 (2020-02-01), Heft 4, S. 1205-1205
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    Crosstalk Analysis of a CMOS Single Membrane Thermopile Detector Array
    Dai, Ying ; Syed Zeeshan Ali ; et al.
    In: Sensors, Jg. 20 (2020-04-01), Heft 9, S. 2573-2573
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    Optimization of a Piezoelectric Energy Harvester and Design of a Charge Pump Converter for CMOS-MEMS Monolithic Integration
    Duque, Marcos ; Leon-Salguero, Edgardo ; et al.
    In: Sensors, Jg. 19 (2019-04-01), Heft 8, S. 1895-1895
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    Experiments on MEMS Integration in 0.25 μm CMOS Process
    Michalik, Piotr ; Fernández, Daniel ; et al.
    In: Sensors, Jg. 18 (2018-06-01), Heft 7, S. 2111-2111
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    A CMOS-MEMS BEOL 2-axis Lorentz-Force Magnetometer with Device-Level Offset Cancellation
    Josep Maria Sánchez-Chiva ; Valle, Juan ; et al.
    In: Sensors, Jg. 20 (2020-10-01), Heft 20, S. 5899-5899
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    An SOI CMOS-Based Multi-Sensor MEMS Chip for Fluidic Applications
    Mansoor, Mohtashim ; Haneef, Ibraheem ; et al.
    In: Sensors, Jg. 16 (2016-11-01), Heft 11, S. 1608-1608
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    In-Situ Temperature Measurement on CMOS Integrated Micro-Hotplates for Gas Sensing Devices
    Deluca, Marco ; Wimmer-Teubenbacher, Robert ; et al.
    In: Sensors, Jg. 19 (2019-02-01), Heft 3, S. 672-672
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