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    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    Ko, Cheng-Ting ; Tseng, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
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    Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit
    Verd, Jaume ; Abadal, G. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-06-01), Heft 3, S. 508-519
    Online academicJournal
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    A CMOS integrated three-axis accelerometer fabricated with commercial submicrometer CMOS technology and bulk-micromachining
    Takao, Hidekuni ; Fukumoto, Hirofumi ; et al.
    In: IEEE Transactions on Electron Devices, Jg. 48 (2001-09-01), Heft 9, S. 1961-1967
    Online academicJournal
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    A CMOS-MEMS mirror with curled-hinge comb drives
    Xie, Huikai ; Pan, Yingtian ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), Heft 4, S. 450-457
    Online academicJournal
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    Luo, Hao ; Zhang, Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
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    Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures
    Xie, Huikai ; Erdmann, Lars ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-04-01), Heft 2, S. 93-101
    Online academicJournal
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    Towards a versatile DRIE: silicon pit structures combined with electrochemical etch stop
    Kurzawski, Petra ; Salo, Tomi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 840-848
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -