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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Chung, Wing-Wai ; Cai, Hong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1199-1207
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips
    Li, Yifan ; Tsiamis, Andreas ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1245-1252
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization
    Zope, Anurag A. ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 744-754
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), S. 656-665
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $\mu \text{m}$ CMOS Chips
    Toshiyoshi, Hiroshi ; Cheng, Zhengxi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1435-1441
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Fedder, Gary K. ; Santhanam, Suresh ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 978-983
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology
    Gao, Bo ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), S. 954-962
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias
    Song, Zhen ; Yang, Sujie ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), S. 770-779
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control
    Li, Wei-Chang ; Hsu, Cheng-En
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), S. 1415-1417
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Fujimoto, Koji ; Mita, Yoshio ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), S. 86-94
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process
    El-Gamal, Mourad N. ; Alfaifi, Ahmad ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), S. 14-24
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    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process
    Fernández, Daniel ; Valle, Juan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 401-412
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    Design, Modeling and Fabrication of TPoS MEMS Resonators With Improved Performance at 1 GHz
    DasGupta, Amitava ; K. N. Bhadri Narayanan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-06-01), S. 375-383
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    Bi-Stable Aluminum Nitride-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT)
    Kaltenbacher, Manfred ; Moll, Philipp ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 948-953
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    Evaluation of Vibrational PiezoMEMS Harvester That Scavenges Energy From a Magnetic Field Surrounding an AC Current-Carrying Wire
    Jackson, Nathan ; Houlihan, Ruth ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1298-1305
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    Bimorph Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
    Akhbari, Sina ; Eovino, Benjamin E. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 326-336
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