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    High Performance Seesaw Torsional CMOS-MEMS Relay Using Tungsten VIA Layer
    Barniol, Nuria ; Riverola, Martin ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-11-01), Heft 11
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    Encapsulation of NEM Memory Switches for Monolithic-Three-Dimensional (M3D) CMOS–NEM Hybrid Circuits
    Hyun Chan Jo ; Woo Young Choi
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-06-01), Heft 7
    Online unknown
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    Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry
    Torres, Francesc ; Marigo, E. ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 7 (2015-12-23), Heft 3
    Online unknown
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    Process Optimization of Via Plug Multilevel Interconnections in CMOS Logic Devices
    Gao, Yuan ; Jeong Yeul Jeong ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2019-12-01), Heft 1
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    CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices
    Qu, Hongwei
    In: Micromachines, Jg. 7 (2016-01-21), S. 14-14
    Online unknown
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    Effect of Contact Plug Deposition Conditions on Junction Leakage and Contact Resistance in Multilevel CMOS Logic Interconnection Device
    Cui, Yinhua ; Gao, Yuan ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-02-06), S. 170-170
    Online unknown
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    The Evolution of Manufacturing Technology for GaN Electronic Devices
    Langpoklakpam, Catherine ; Kuo, Hao-Chung ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 12 (2021-06-23), S. 737-737
    Online unknown
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    Simple and Efficient AlN-Based Piezoelectric Energy Harvesters
    Klempa, Jaroslav ; Brodský, Jan ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-01-28), S. 143-143
    Online unknown
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    The Balancing Act in Ferroelectric Transistors: How Hard Can It Be?
    Hueting, Raymond J. E.
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-11-01), Heft 11
    Online unknown
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    Resistance Switching Statistics and Mechanisms of Pt Dispersed Silicon Oxide-Based Memristors
    Samanta, Subhranu ; Liqun, Lu ; et al.
    In: Micromachines, 2019-06-01
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    A Simulation Study of a Gate-All-Around Nanowire Transistor with a Core–Insulator
    Zhang, Yannan ; And Jiawei Li ; et al.
    In: Micromachines, 2020-02-21
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Design Optimization and Fabrication of High-Sensitivity SOI Pressure Sensors with High Signal-to-Noise Ratios Based on Silicon Nanowire Piezoresistors
    Mao, Xiaoli ; Ge, Yixian ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 7 (2016-10-01), Heft 10
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Recent Progress in the Voltage-Controlled Magnetic Anisotropy Effect and the Challenges Faced in Developing Voltage-Torque MRAM
    Shirai, Masafumi ; Nozaki, Takayuki ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 10 (2019-05-15), S. 327-327
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Locally-Actuated Graphene-Based Nano-Electro-Mechanical Switch
    Mizuta, Hiroshi ; Sun, Jian ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 7 (2016-07-19), S. 124-124
    Online unknown
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    A Novel High-Precision Digital Tunneling Magnetic Resistance-Type Sensor for the Nanosatellites’ Space Application
    Li, Xiangyu ; Hu, Jianping ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-03-09), S. 121-121
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Spiral-Shaped Piezoelectric MEMS Cantilever Array for Fully Implantable Hearing Systems
    Ferencz, János ; Udvardi, Péter ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 8 (2017-10-18), S. 311-311
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Comprehensive Die Shear Test of Silicon Packages Bonded by Thermocompression of Al Layers with Thin Sn Capping or Insertions
    Satoh, Shiro ; Esashi, Masayoshi ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 9 (2018-03-15), Heft 4
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Performance Comparison of SOI-Based Temperature Sensors for Room-Temperature Terahertz Antenna-Coupled Bolometers: MOSFET, PN Junction Diode and Resistor
    Inokawa, Hiroshi ; Banerjee, Amit ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-07-01), Heft 718
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A Graphene/Polycrystalline Silicon Photodiode and Its Integration in a Photodiode-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor
    Chiu, Po-Wen ; Hsu, Klaus Y. J. ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-05-25), Heft 6
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    Vertical Field Emission Air-Channel Diodes and Transistors
    Chang, Wen-Teng ; Hsu, Hsu-Jung ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 10 (2019-12-01), Heft 12
    Online unknown
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