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    A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
    TSAI, Ming-Han ; LIU, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1329-1337
    Online academicJournal
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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    YI, CHIU ; HONG, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1285-1295
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection.
    Wang, Xiaoyi ; Lee, Yi-Kuen ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), Heft 4, S. 506-512
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
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    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers
    OLSSON, Roy H ; WOJCIECHOWSKI, Kenneth E ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 3, S. 671-678
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    HAO, LUO ; GANG, ZHANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 11 (2002), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process.
    Alfaifi, Ahmad ; Alhomoudi, Ibrahim A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), Heft 1, S. 14-24
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS interface circuitry for a low-voltage micromachined tunneling accelerometer
    YEH, C ; NAJAFI, K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 1, S. 6-15
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Monolithic CMOS—MEMS Pure Oxide Tri-Axis Accelerometers for Temperature Stabilization and Performance Enhancement.
    Tsai, Ming-Han ; Liu, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), Heft 6, S. 1916-1927
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators.
    Chiu, Yi ; Hong, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), Heft 6, S. 1285-1295
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Surface Micromachined Combined Magnetometer/Accelerometer for Above-IC Integration.
    Elsayed, Mohannad Yomn ; Cicek, Paul-Vahe ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 1029-1037
    Online academicJournal
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    An In-Plane High-Sensitivity, Low-Noise Micro-g Silicon Accelerometer With CMOS Readout Circuitry.
    Chae, Junscok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-08-01), Heft 4, S. 628-635
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Process Development for CMOS-MEMS Sensors With Robust Electrically Isolated Bulk Silicon Microstructures.
    Qu, Hongwei ; Xie, Huikai
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    A Post-CMOS Micromachined Lateral Accelerometer.
    Luo, Hao ; Zhang, Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Sensitivity and Frequency Response Improvement of the Micro Thermal Convective Accelerometer With Structure Optimization.
    Wang, Xiaoyi ; Lee, Yi-Kuen ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-10-01), Heft 5, S. 753-759
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Theoretical Modeling, Numerical Simulations and Experimental Study of Micro Thermal Convective Accelerometers.
    Wang, Xiaoyi ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 790-798
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A Monolithic Three-Axis Micro-g Micromachined Silicon Capacitive Accelerometer.
    Chae, Junseok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-04-01), Heft 2, S. 235-242
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A Bulk-Micromachined Three-Axis Capacitive MEMS Accelerometer on a Single Die.
    Tez, Serdar ; Aykutlu, Ulas ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), Heft 5, S. 1264-1274
    Online academicJournal
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    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Poly-SiGe-Based MEMS Thin-Film Encapsulation
    BIN, GUO ; BO, WANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 1, S. 110-120
    Online academicJournal
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    Wie komme ich dran?
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