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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-03-01), Heft 2, S. 860-863academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-03-01), Heft 2, S. 860-863academicJournalZugriff: