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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 104-118Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1687-1697Online academicJournalZugriff: