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  1. TENNANT, D. M ; SWANSON, L. W
    In: Journal of vacuum science and technology. B. Microelectronics processing and phenomena, Jg. 7 (1989), Heft 1, S. 93-97
    academicJournal
  2. CHOI, SS ; DEVOTTA, JBX ; et al.
    academicJournal
  3. CHOI, SS ; DEVOTTA, JBX ; et al.
    academicJournal
  4. DEVOTTA, JBX ; SRINIVASAN, V
    academicJournal
  5. YULIN, QIU ; BAOQIN, CHEN ; et al.
    In: Advanced microlithography technologies (Beijing, 8-10 November 2004), 2005, S. 353-364
    Konferenz
xs 0 - 576
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md 768 - 992
lg 992 - 1200
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