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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Phase-only micromirror array fabricated by standard CMOS process : Micro electro mechanical systems
    Tuantranont, A. ; Liew, L. A. ; et al.
    In: SENSORS AND ACTUATORS A, Jg. 89 (2001), Heft NO 1-2, S. 124-134
    Konferenz
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    In situ characterization of CMOS post-process micromachining : Micro electro mechanical systems
    Warneke, B. ; Pister, K. S. J.
    In: SENSORS AND ACTUATORS A, Jg. 89 (2001), Heft NO 1-2, S. 142-151
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of A Three-Axis Accelerometer Integrated with Commercial 0.8 mum-CMOS Circuits : Micro electro mechanical systems
    Takao, H. ; Fukumoto, H. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 781-786
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    In Situ Characterization of CMOS Post-Process Micromachining : Micro electro mechanical systems
    Warneke, B. ; Pister, K. S. J.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 614-618
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Metal Film Protection of CMOS Wafers against KOH : Micro electro mechanical systems
    Munch, U. ; Brand, O. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 608-613
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of Silicon Isotropic Etch by Inductively Coupled Plasma Etch in Post-CMOS Processing : Micro electro mechanical systems
    Zhu, X. ; Greve, D. W. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 568-573
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Smart Phase-Only Micromirror Array Fabricated by Standard CMOS Process : Micro electro mechanical systems
    Tuantranont, A. ; Bright, V. M. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 455-460
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    A 1mG Lateral CMOS-MEMS Accelerometer : Micro electro mechanical systems
    Luo, H. ; Fedder, G. K. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 502-507
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    A CMOS Z-Axis Capacitive Accelerometer with Comb-Finger Sensing : Micro electro mechanical systems
    Xie, H. ; Fedder, G. K.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 496-501
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A Monolithic Fully-Integrated Vacuum-Sealed CMOS Pressure Sensor : Micro electro mechanical systems
    Chavan, A. V. ; Wise, K. D.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 341-346
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    CMOS Micromechanical Bandpass Filter Design Using A Hierarchical MEMS Circuit Library : Micro electro mechanical systems
    Jing, Q. ; Luo, H. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 187-192
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    N-Well Based CMOS Calorimetric Chemical Sensors : Micro electro mechanical systems
    Kerness, N. ; Koll, A. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 96-101
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Intelligent CMOS Sensors : Micro electro mechanical systems
    Hierold, C.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 1-6
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Fabrication of the Planar Angular Rotator Using the CMOS Process : Micro electro mechanical systems
    Chen, H. ; Chang, C. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2000, S. 17-22
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Post-CMOS Integration of Germanium Microstructures : Micro electro mechanical systems
    Franke, A. E. ; Bili'c, D. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 630-637
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Micromachined CMOS Calorimetric Chemical Sensor with On-Chip Low Noise Amplifier : Micro electro mechanical systems
    Koll, A. ; Schaufelbuehl, A. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 547-551
    Konferenz
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    A Lateral Capacitive CMOS Accelerometer with Structural Curl Compensation : Micro electro mechanical systems
    Zhang, G. ; Xie, H. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 606-611
    Konferenz
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Parallel Scanning AFM with On-Chip Circuitry in CMOS Technology : Micro electro mechanical systems
    Lange, D. ; Akiyama, T. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 447-452
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Spectral Infrared Absorption of CMOS Thin Film Stacks : Micro electro mechanical systems
    Schneeberger, N. ; Paul, O. ; et al.
    In: ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, Jg. CONF 12, S. 106-111
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Design of high speed camera based on CMOS technology [6794-39] : Mechatronics and information technology; ICMIT 2007: mechatronics, MEMS, and smart materials
    Park, S. H. ; An, J. S. ; et al.
    In: PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Jg. 6794 (2008), Heft PTS 1-2, S. 6794 14
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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