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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 720-729Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 730-744Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 4, S. 366-372Online academicJournalZugriff: