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In: 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) ; https://hal.science/hal-01891791 ; 2014 Symposium on Design, 2014KonferenzZugriff:
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In: 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) ; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01891791 ; 2014 Symposium on Design, 2014KonferenzZugriff: