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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編], Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編], Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. DEI, Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編], Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編], Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
    亮太, 泥谷 ; 隆太, 伊藤 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. DEI, Jg. 2021 (2021-01-22), Heft 1-18, S. 89-92
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と構造および電気特性評価
    勇馬, 神村 ; 貴志, 松浦 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編], Jg. 2018 (2018-10-26), Heft 114-121, S. 5-8
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と構造および電気特性評価
    勇馬, 神村 ; 貴志, 松浦 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / プラズマ・パルスパワー研究会 [編], Jg. 2018 (2018-10-26), Heft 43-50, S. 5-8
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と構造および電気特性評価
    勇馬, 神村 ; 貴志, 松浦 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編], Jg. 2018 (2018-10-26), Heft 114-121, S. 5-8
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と構造および電気特性評価
    勇馬, 神村 ; 貴志, 松浦 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / プラズマ・パルスパワー研究会 [編], Jg. 2018 (2018-10-26), Heft 43-50, S. 5-8
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 96-110, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 78-92, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 59-73, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 59-73, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 78-92, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
    勇馬, 神村 ; 雅敬, 鳥越 ; et al.
    In: 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編], Jg. 2017 (2017-10-26), Heft 96-110, S. 35-38
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    RFプラズマCVD法による窒化ホウ素膜の堆積
    拓朗, 稲尾 ; 正彦, 熊懐 ; et al.
    In: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials, Jg. 134 (2014-06-01), Heft 6, S. 397-401
    academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    RFプラズマCVD法による窒化ホウ素膜の堆積
    拓朗, 稲尾 ; 正彦, 熊懐 ; et al.
    In: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials, Jg. 134 (2014-06-01), Heft 6, S. 397-401
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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