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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 609-621Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1192-1200Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 1, S. 120-130Online academicJournalZugriff: