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    Etch performance of Ar/N2/F2 for CVD/ALD chamber clean.
    Riva, Marcello ; Pittroff, Michael ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 52 (2009-02-01), Heft 2, S. 20-24
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
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    Vacuum equipment exhaust considerations for subatmospheric pressure CVD applications.
    McKinley, Roger J. B.
    In: Solid State Technology, Jg. 30 (1987-08-01), S. 119-122
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    Safety aspects of oil sealed rotary vane vacuum pumps in CVD applications.
    Bachmann, P. ; Berges, H. P.
    In: Solid State Technology, Jg. 29 (1986-07-01), S. 83-87
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    The CVD market: a technology revolution.
    McGeary, R. E.
    In: Solid State Technology, Jg. 30 (1987-10-01), S. 43-45
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Etch and CVD process improvements via: heated vacuum throttle valves.
    Goodman, Dan ; Pewsey, Shaun
    In: Solid State Technology, Jg. 43 (2000-12-01), Heft 8, S. 80-82
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
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    Safety and environmental concerns of CVD copper precursors.
    Zorich, Bob ; Majors, Mary
    In: Solid State Technology, Jg. 41 (1998), Heft 9, S. 101
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
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    Vapor delivery methods for CVD: an equipment selection guide.
    Sullivan, Laura A. ; Han, Bin
    In: Solid State Technology, Jg. 39 (1996-05-01), S. 91
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
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    ALD, CVD in one tool.
    In: Solid State Technology, Jg. 51 (2008-11-01), Heft 11, S. 34-34
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Continuous process CVD system.
    In: Solid State Technology, Jg. 30 (1987-10-01), S. 49-50
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Multi-chamber single-wafer CVD system.
    In: Solid State Technology, Jg. 30 (1987-10-01), S. 55-56
    serialPeriodical
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    CVD vacuum filtration unit.
    In: Solid State Technology, Jg. 29 (1986-08-01), S. 154-154
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Applications of spin-on hybrid BARCs for FEOL and BEOL integration.
    Turner, Stephen ; Mills, Lynne
    In: Solid State Technology, Jg. 48 (2005-06-01), Heft 6, S. 75-77
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Single wafer RTP-CVD epitaxial deposition technology.
    Wong, Fred
    In: Solid State Technology, Jg. 32 (1989-10-01), S. 53-54
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Thermal CVD equipment: competition heats up.
    Shankar, Krishna
    In: Solid State Technology, Jg. 34 (1991-04-01), S. 47-47
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    The Precision 5000 story.
    In: Solid State Technology, Jg. 40 (1997-05-01), S. 117
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Taming thick-film nitride.
    Lefevre, Daniel ; Hope, Mark ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 42 (1999-03-01), Heft 3, S. S7
    Online serialPeriodical
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    Safe usage of ClF3: supply, vacuum service, and exhaust gas management.
    Pierce, A. M. ; Taylor, M. ; et al.
    In: Solid State Technology, Jg. 40 (1997-09-01), S. 107
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    US companies lead recovery of deposition equipment business.
    Salzer, John M.
    In: Solid State Technology, Jg. 37 (1994-09-01), S. 40
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    The chemical vapor deposition equipment market: an overview.
    In: Solid State Technology, Jg. 28 (1985-12-01), S. 35-36
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Single-wafer deposition of polycrystalline silicon.
    Venkatesan, Mali ; Beinglass, Israel
    In: Solid State Technology, Jg. 36 (1993-03-01), S. 49
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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