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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Process Optimization of Via Plug Multilevel Interconnections in CMOS Logic Devices
    Gao, Yuan ; Jeong Yeul Jeong ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2019-12-01), Heft 1
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Effect of Contact Plug Deposition Conditions on Junction Leakage and Contact Resistance in Multilevel CMOS Logic Interconnection Device
    Cui, Yinhua ; Gao, Yuan ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-02-06), S. 170-170
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    The Evolution of Manufacturing Technology for GaN Electronic Devices
    Langpoklakpam, Catherine ; Kuo, Hao-Chung ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 12 (2021-06-23), S. 737-737
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -